Изучено влияние атомарного алюминия, нанесенного на подложку сапфира, нитридизованную в разной степени, на качество слоев AlN, выращенных методом аммиачной молекулярно-лучевой эпитаксии. Нитридизация сапфира с формированием на его поверхности ~1 монослоя AlN обеспечивает рост слоев с более гладкой поверхностью и лучшего кристаллического качества по сравнению нитридизацией сапфира, приводящей к формированию нитридизованного слоя AlN толщиной ~2 монослоя. Изменение времени экспонирования нитридизованных подложек в потоке атомарного алюминия существенного влияния на параметры последующих слоeв AlN не оказывает. DOI: 10.21883/0000000000
S. Strite, H. Morkoc. J. Vac. Sci. Technol., 10, 1237 (1992)
T. Yamaguchi, T. Araki, Y. Saito, K. Kano, H. Kanazawa, Y. Nanishi, N. Teraguchi, A. Suzuki. J. Cryst. Growth, 237- 239 (2), 993 (1994)
K. Masu, Y. Nakamura, T. Yamazaki, T. Shibata, M. Takahashi, K. Tsubouchi. Jpn. J. Appl. Phys., 34 (6B), 760 (1995)
K. Uchida, A. Watanabe, F. Yano, M. Kouguchi, T. Tanaka, S. Minagawa. J. Appl. Phys., 79 (7), 3487 (1996)
Ch. Heinlein, J. Grepstad, T. Berge, H. Riechert. Appl. Phys. Lett., 71 (3), 341 (1997)
A. Georgakilas, S. Mikroulis, V. Cimalla, M. Zervos, A. Kostopoulos, Ph. Komninou, Th. Kehagias, Th. Karakostas. Phys. Status Solidi A, 188 (2), 567 (2001)
F. Dwikusuma, T.F. Kuech. J. Appl. Phys., 94 (9), 5656 (2003)
B. Agnarsson, M. Gothelid, S. Olafsson, H.P. Gislason, U.O. Karlsson. J. Appl. Phys., 101, 013519 (2007)
N. Grandjean, J. Massies, M. Leroux. J. Appl. Phys., 69, 2071 (1996)
M. Yeadon, M.T. Marshall, F. Hamdani, S. Pekin, H. Morkoc, J. Murray Gibson. J. Appl. Phys., 83 (5), 2847 (1998)
T. Malin, V. Mansurov, Y. Galitsyn, K. Zhuravlev. Phys. Status Solidi C, 11 (3-4), 613 (2014)
T. Malin, V. Mansurov, Y. Galitsyn, K. Zhuravlev. Phys. Status Solidi C, 12 (4-5), 443 (2015)
Y. Wu, A. Hanlon, J.F. Kaeding, R. Sharma, P.T. Fini, S. Nakamura, J.S. Speck. Appl. Phys. Lett., 84 (6), 912 (2004)
W.-G. Hu, Ch.-M. Jiao, H.-Y. Wei, P.-F. Zhang, T.T. Kang, R.-Q. Zhang, X.-L. Liu. Chin. Phys. Lett., 25 (12), 4364 (2008)
K.S. Kim, K.Y. Lim, H.J. Lee. Semicond. Sci. Technol., 14, 557 (1999)
L.-C. Le, D.-G. Zhao, L.-L. Wu, Y. Deng, D.-S. Jiang, J.-J. Zhu, Z.-S. Liu, H. Wang, S.-M. Zhang, B.-S. Zhang, H. Yang, Chin. Phys. B, 20 (12), 127306 (2011)
W. Kim, M. Yeadon, A.E. Botchkarev, S.N. Mohammad, J.M. Gibson, H. Morkoc. J. Vac. Sci. Technol. B, 15 (4), 921 (1997)
C.L. Freeman, F. Claeyssens, N.L. Allan. Phys. Rev. Lett., 96, 066102 (2006)
C.J.F. Solano, A. Costales, E. Francisco, A.M. Pendas, M.A. Blanco, K.-C. Lau, H. He, R. Pandey. J. Phys. Chem. C, 112 (17), 6667 (2008)
A. Yoshikawa, K. Takahashi. Phys. Status Solidi A, 188 (2), 625 (2001)
F. Liu, R. Collazo, S. Mita, Z. Sitar, G. Duscher, S.J. Pennycook. J. Appl. Phys. Lett., 91, 203115 (2007)
J. Ohta, H. Fujioka, M. Oshima, K. Fujiwara, A. Ishii. Appl. Phys. Lett., 83 (15), 3075 (2003)
S.K. Davidsson, J.F. Falth, X.Y. Liu, H. Zirath, T.G. Andersson. J. Appl. Phys., 98, 016109 (2005)
K. Xu, N. Yano, A.W. Jia, A. Yoshikawa, K. Takahashi. J. Cryst. Growth, 237- 239 (2), 1003 (2002)
Y.S. Park, H.S. Lee, J.H. Na, H.J. Kim, S.M. Si, H.M. Kim, J.E. Oh. J. Appl. Phys., 94, 800 (2003)
D.H. Lim, K. Xu, S. Arima, A. Yoshikawa, K. Takahashi. J. Appl. Phys., 91, 6461 (2002)
Y. Wang, A.S. Ozcan, G. Ozaydin, K.F. Ludwig, jr., A. Bhattacharyya, Th.D. Moustakas, H. Zhou, R.L. Headrick, D.P. Siddons. Phys. Rev. B, 74, 235304 (2006)
J.V. Lauritsen, M.C.R. Jensen, K. Venkataramani, B. Hinnemann, S. Helveg, B.S. Clausen, F. Besenbacher. Phys. Rev. Lett., 103, 076103 (2009)
A.R. Smith, R.M. Feenstra, D.W. Greve, J. Neugebauer, J.E. Nortrhrup. Phys. Rev. Lett., 79, 3934 (1997)
A.R. Smith, R.M. Feenstra, D.W. Greve, M.-S. Shin, M. Skowronski, J. Neugebauer, J.E. Nortrhrup. Surf. Sci., 423, 70 (1999)
N. Kumagai, K. Akiyama, R. Togashi, H. Murakami, M. Takeuchi, T. Kinoshita, K. Takada, Y. Aoyagi, A. Koukitu. J. Cryst. Growth, 305 (2), 366 (2007)
O. Ambacher. J. Phys. D, 31, 2653 (1998)
C.G. Dunn, E.F. Koch. Acta Metall., 5, 548 (1957)
L. Filippidis, H. Siegle, A. Hoffmann, C. Thomsen, K. Karch, F. Bechstedt. Phys. Status Solidi B, 198, 621 (1996)
G.G. Stoney. Proc. Royal Soc. (London), 82 (553), 172 (1909)
T. Prokofyeva, M. Seon, J. Vanbuskirk, M. Holtz. Phys. Rev. B, 63, 125313 (2001)
R.W. Hoffman. Thin Sol. Films, 34, 185 (1976).