"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние быстрой термообработки на вольт-амперные характеристики 4H-SiC-диодов с барьером Шоттки
Иванов П.А.1, Ильинская Н.Д.1, Потапов А.С.1, Самсонова Т.П.1, Афанасьев А.В.2, Ильин В.А.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2012 г.

Исследовано влияние быстрого термического отжига (температура 600-800oC, длительность 2 мин) на прямые вольт-амперные характеристики 4H-SiC-диодов с барьером Шоттки. В качестве металла контактов Шоттки использовались вольфрам, никель, хром и молибден, осажденные электронно-лучевым напылением в вакууме. Для разных металлов обнаружен разный характер влияния термообработки на высоту барьера и на разброс параметров контактов, характеризующий степень их однородности.
  • F. Roccaforte, F. La Via, V. Raineri, P. Musumeci, L. Calcagno, G.G. Condorelli. Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process., 77, 827 (2003)
  • F. Roccaforte, F. La Via, A. Baeri, V. Raineri, L. Calcagno, F. Mangano. J. Appl. Phys., 96, 4313 (2004)
  • Q. Zhang, T.S. Sudarshan. J. Electron. Mater, 30, 1466 (2001)
  • K.V. Vassilevski, A.B. Horsfall, C.M. Johnson, N.G. Wright, A.G. O'Neil. IEEE Trans. Electron. Dev., 49, 947 (2002)
  • P. Perrone, M. Naretto, S. Ferrero, L. Scaltrito, C.F. Pirri. Mater. Sci. Forum, 615-- 617, 647 (2009)
  • D.J. Ewing, Q. Wahab, R.R. Ciechonski, M. Syvajarvi, R. Yakimova, L.M. Porter. Semicond. Sci. Technol., 22, 1287 (2007)
  • B.J. Skromme, E. Luckowski, K. Moore, M. Bhatnagar, C.E. Weitzel, T. Gehoski, D. Ganser. J. Electron. Mater., 29, 376 (2000)
  • А.С. Потапов, П.А. Иванов, Т.П. Самсонова. ФТП, 43, 640 (2009)
  • T. Nakamura, T. Miyanagi, H. Tsuchida, I. Kamata, T. Jikimoto, K. Izumi. Mater. Sci. Forum, 483-- 485, 721 (2005)
  • А.В. Афанасьев, В.А. Ильин, И.Г. Казарин, А.А. Петров. ЖТФ, 71, 78 (2001)
  • S. Ferrero, A. Albonico, U.M. Meotto, G. Rambola, S. Porro, F. Giorgis, D. Perrone, L. Scaltrito, E. Bontempi, L.E. Depero, G. Richieri, L. Merlin. Mater. Sci. Forum, 483-- 485, 733 (2005).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.