"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Закономерности образования дислокационных сеток на границе сращённых пластин Si(001)
Вдовин В.И.1, Убыйвовк Е.В.1, Вывенко О.Ф.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Методом просвечивающей электронной микроскопии выполнено исследование дислокационных сеток в структурах с гидрофильным соединением пластин Si(001). Наблюдались сетки с различной геометрией и типом доминирующих дислокаций. Один тип сеток, типичный для сращённых структур, формируется на основе квадратной сетки винтовых дислокаций и содержит систему однонаправленных 60-градусных дислокаций зигзагообразной формы. Установлено, что такие дислокационные сетки являются плоскими в структурах с азимутальной разориентацией пластин более 2o, а при меньших углах разориентации --- трехмерными. Уникальная сетка другого типа образована только 60-градусными дислокациями, преобладающая доля которых вытянута вдоль одного направления, не совпадающего с направлениями <110> в плоскости соединения, и имеет ряд специфических особенностей, объяснение которых невозможно в рамках общепринятых представлений.
  • M. Reiche. Mater. Sci. Forum, 590, 57 (2008)
  • T. Sekiguchi, S. Ito, A. Kanai. Mater. Sci. Eng. B, 91--92, 244 (2002)
  • A. Bondarenko, O. Vyvenko, I. Isakov. J. Phys. Conf. Ser., 281, 012 008 (2011)
  • H. Foll, D. Ast. Phil. Mag. A, 40, 589 (1979)
  • T. Akatsu, R. Scholz, U. Gosele. J. Mater. Sci., 39, 3031 (2004)
  • K. Rousseau, J. Eymery, F. Fournel, J.-P. Morniroli, J.-L. Rouvi`ere. Phil. Mag., 85, 2415 (2005)
  • M. Benamara, A. Rocher, A. Laporte, G. Sarrabayrouse, L. Lescouz\`eres, A. PeyreLavigne, M. Fnaiech, A. Claverie. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 378, 863 (1995)
  • J. Coelho, G. Patriarche, F. Glas, I. Sagnes, G. Saint-Girons. Phys. Status Solidi C, 2, 1933 (2005)
  • V. Vdovin, O. Vyvenko, E. Ubyivovk, O. Kononchuk. Sol. St. Phenomena, 178--179, 253 (2011)
  • V.I. Vdovin, L.A. Matveeva, G.N. Semenova, M.Ya. Skorohod, Yu.A. Tkhorik, L.S. Khazan. Phys. Status. Solidi A, 92, 379 (1985)
  • U. Gosele, Y. Bluhm, G. Kastner, P. Kopperschmidt, G. Krauter, R. Scholz, A. Schumacher, St. Senz, Q.-Y. Tong. J. Vac. Sci. Technol. A, 17, 1145 (1999)
  • T. Wilhelm, T. Mchedlidze, X. Yu, T. Arguirov, M. Kittler, M. Reiche. Sol. St. Phenomena, 131--133, 571 (2008)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.