Исследовались структурные, оптические и фотоэлектрические свойства пленок полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения из газовой смеси моносилана и водорода при высоком давлении. Изменение давления газовой смеси при получении пленок не приводило к существенному изменению измеренных для них спектров рамановского рассеяния, но вызывало изменение величины фотопроводимости и формы спектральной зависимости коэффициента поглощения, измеренной методом постоянного фототока. Наблюдаемое изменение оптических и фотоэлектрических параметров пленок связывается с некоторым изменением их структуры при изменении параметров осаждения.
P. Roca i Cabarrocas, A. Fontcuberta i Morral, Y. Poissant. Thin Sol. Films, 403--404, 39 (2002)
M.Y. Soro, M.E. Gueunier-Farret. J. Appl. Phys., 109, 023 613 (2011)
M. Brinza, G.J. Adriaenssens, P. Roca i Cabarrocas. Thin Sol. Films, 427, 123 (2003)
J.P. Kleider, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 599 (2002)
G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Reb. B, 47, 3661 (1993)
P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 31 (2000)
P. Roca i Cabarrocas. Appl. Phys. Lett., 65, 1674 (1994)
A. Fontcuberta i Morral, R. Brenot, E.A.G. Hamers, R. Vanderhaghen, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 48 (2000)
M. Vanecek, J. Kocka, J. Stuchli k, Z. Kozisek, O. Stika, A. Triska. Sol. Energy Mater., 8, 411 (1983)
N.M. Liao, W. Li, Y.D. Jiang, Y.J. Kuang, K.C. Qi, Z.M. Wu, S.B. Li. Appl. Phys. A, 91, 349 (2008)
N. Maley, D. Beeman, J.S. Lannin. Phys. Rev. B, 38, 10 611 (1988)
H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Sol. St. Commun., 39 (5), 625 (1981)
T. Kaneko, M. Wagashi, K. Onisawa, T. Minemura. Appl. Phys. Lett., 64, 1865 (1994)
P. Gogoi, P.N. Dixit, P. Agarwal. Sol. Energy Mater. Solar Cells, 91, 1253 (2007)
А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.К. Кашкаров, О.И. Коньков, Е.И. Теруков, П.А. Форш, М.В. Хенкин, А.В. Кукин, M. Beresna, P. Kazansky. ФТП, 46, 769 (2012)
В.Г. Голубев, В.Ю. Давыдов, А.В. Медведев, А.Б. Певцов, Н.А. Феоктистов. ФТТ, 39, 1348 (1997)
D. Han, G. Yue, J.D. Lorentzen, J. Lin, H. Habuchi, Qi Wang. J. Appl. Phys., 87, 1882 (2000)
A.G. Kazanskii, G. Kong, X. Zeng, H. Hao, F. Liu. J. Non-Cryst. Sol., 354, 2282 (2008)
M. Hoheisel, R. Carius, W. Funs. J. Non-Cryst. Sol., 59--60, 457 (1983)
G. Schumm, C.-D. Abel, G.H. Bauer. J. Non-Cryst. Sol., 137-138, 351 (1991)