"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние условий получения пленок полиморфного кремния на их структурные, электрические и оптические свойства
Хенкин М.В.1, Емельянов А.В.1, Казанский А.Г.1, Форш П.А.2, Кашкаров П.К.1,2, Теруков Е.И.3,4, Орехов Д.Л.4, Roca i Cabarrocas P.5
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр Курчатовский институт, Москва, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4ООО НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при Физико-техническом институте им. А.Ф. Иоффе, Санкт-Петербург, Россия
5LPICM-CNRS, Ecole polytechnique, Palaiseau, France
Поступила в редакцию: 21 января 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2013 г.

Исследовались структурные, оптические и фотоэлектрические свойства пленок полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения из газовой смеси моносилана и водорода при высоком давлении. Изменение давления газовой смеси при получении пленок не приводило к существенному изменению измеренных для них спектров рамановского рассеяния, но вызывало изменение величины фотопроводимости и формы спектральной зависимости коэффициента поглощения, измеренной методом постоянного фототока. Наблюдаемое изменение оптических и фотоэлектрических параметров пленок связывается с некоторым изменением их структуры при изменении параметров осаждения.
  • P. Roca i Cabarrocas, A. Fontcuberta i Morral, Y. Poissant. Thin Sol. Films, 403--404, 39 (2002)
  • M.Y. Soro, M.E. Gueunier-Farret. J. Appl. Phys., 109, 023 613 (2011)
  • M. Brinza, G.J. Adriaenssens, P. Roca i Cabarrocas. Thin Sol. Films, 427, 123 (2003)
  • J.P. Kleider, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 599 (2002)
  • G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Reb. B, 47, 3661 (1993)
  • P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 31 (2000)
  • P. Roca i Cabarrocas. Appl. Phys. Lett., 65, 1674 (1994)
  • A. Fontcuberta i Morral, R. Brenot, E.A.G. Hamers, R. Vanderhaghen, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 48 (2000)
  • M. Vanecek, J. Kocka, J. Stuchli k, Z. Kozisek, O. Stika, A. Triska. Sol. Energy Mater., 8, 411 (1983)
  • N.M. Liao, W. Li, Y.D. Jiang, Y.J. Kuang, K.C. Qi, Z.M. Wu, S.B. Li. Appl. Phys. A, 91, 349 (2008)
  • N. Maley, D. Beeman, J.S. Lannin. Phys. Rev. B, 38, 10 611 (1988)
  • H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Sol. St. Commun., 39 (5), 625 (1981)
  • T. Kaneko, M. Wagashi, K. Onisawa, T. Minemura. Appl. Phys. Lett., 64, 1865 (1994)
  • P. Gogoi, P.N. Dixit, P. Agarwal. Sol. Energy Mater. Solar Cells, 91, 1253 (2007)
  • А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.К. Кашкаров, О.И. Коньков, Е.И. Теруков, П.А. Форш, М.В. Хенкин, А.В. Кукин, M. Beresna, P. Kazansky. ФТП, 46, 769 (2012)
  • В.Г. Голубев, В.Ю. Давыдов, А.В. Медведев, А.Б. Певцов, Н.А. Феоктистов. ФТТ, 39, 1348 (1997)
  • D. Han, G. Yue, J.D. Lorentzen, J. Lin, H. Habuchi, Qi Wang. J. Appl. Phys., 87, 1882 (2000)
  • A.G. Kazanskii, G. Kong, X. Zeng, H. Hao, F. Liu. J. Non-Cryst. Sol., 354, 2282 (2008)
  • M. Hoheisel, R. Carius, W. Funs. J. Non-Cryst. Sol., 59--60, 457 (1983)
  • G. Schumm, C.-D. Abel, G.H. Bauer. J. Non-Cryst. Sol., 137-138, 351 (1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.