"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование переходного слоя в гетероструктурах 3C-SiC/6H-SiC
Лебедев А.А.1, Заморянская М.В.1, Давыдов С.Ю.1, Кириленко Д.А.1, Лебедев С.П.1, Сорокин Л.М.1, Шустов Д.Б.1, Щеглов М.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 апреля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.

Методами ТЕМ и катодолюминесценции проведено исследование переходной области гетероструктур 3C-SiC/6H-SiC. Обнаружено, что данная область, как правило, состоит из чередования слоев 3C-SiC и 6H-SiC с возможным включением и других политипов карбида кремния. Высказано предположение, что подобная структура переходной области может быть объяснена на основе модели спинодального распада.
  • A.A. Lebedev. Semicond. Sci. Technol., 21, R17 (2006)
  • V.M. Polyakov, F. Schwierz. J. Appl. Phys., 98, 023 709 (2005)
  • M.V.S. Chandrashekhar, C.I. Thomas, J. Lu, M.G. Spencer. Appl. Phys. Lett., 91, 033 503 (2007)
  • O. Kim-Hak, G. Ferro, J. Dazord, M. Marinova, J. Lorenzzi, E. Polychroniadis, P. Chaudouet, D. Chaussende, P. Miele. J. Cryst. Growth, 311, 2385 (2009)
  • R. Vasiliauskas, M. Syvajarvi, M. Beskova, R. Yakimova. Mater. Sci. Forum, 615--617, 189 (2009)
  • R. Vasiliauskas, M. Marinova, M. Syvajarvi, A. Mantzari, A. Andreadou, J. Lorenzzi, G. Ferro, E. K. Polychroniadis, R. Yakimova. Mater. Sci. Forum, 645--648, 175 (2010)
  • R. Vasiliauskas, M. Marinova, P. Hens, P. Wellmann, M. Syvajarvi, R. Yakimova. J. Cryst. Growth, 12, 197 (2012)
  • K. Seki, S. Kozawa, T. Ujihara, Y. Takeda. J. Cryst. Growth, 360, 176 (2012)
  • R. Vasiliauskas, S. Juillaguet, M. Syvajarvi, R. Yakimova. J. Cryst. Growth, 348, 91 (2012)
  • S.P. Lebedev, A.A. Lebedev, A.A. Sitnikova, D.A. Kirilenko, N.V. Seredova, A.S. Tregubova, M.P. Scheglov. Mater. Sci. Forum, 740--742, 137 (2013)
  • В.П. Скрипов, А.В. Скрипов. УФН, 128, 193 (1979)
  • Н.А. Берт, Л.С. Вавилова, И.П. Ипатова, В.А. Капитонов, А.В. Мурашова, Н.А. Пихтин, А.А. Ситникова, И.С. Тарасов, В.А. Щукин. ФТП, 33 (5), 544 (1999)
  • А.Ю. Маслов, О.В. Прошин. ФТП, 43, 873 (2009)
  • А.А. Лебедев. ФТП, 33, 769 (1999)
  • А.А. Лебедев, С.Ю. Давыдов. ФТП, 39, 296 (2005)
  • С.Ю. Давыдов, А.А. Лебедев. ФТП, 41, 641 (2007)
  • С.Ю. Давыдов, А.А. Лебедев. ФТП, 45, 743 (2011)
  • A.A. Lebedev, A.M. Strel'chuk, D.V. Davydov, N.S. Savkina, A.S. Tregubova, A.N. Kuznetsov, V.A. Soloviev, N.K. Poletaev. Appl. Surf. Sci., 184, 421 (2001)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.