"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние термического отжига на оптические и фотоэлектрические свойства пленок микрокристаллического гидрированного кремния
Казанский А.Г.1, Мелл Х.2, Форш П.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Philipps-Universitat Marburg,, Marburg, Germany
Поступила в редакцию: 6 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.

Исследовано влияние термического отжига в интервале температур Ta=300-600oC пленок микрокристаллического гидрированного кремния (mu c-Si : H), слабо легированного бором, на спектральные зависимости коэффициента поглощения (alpha) в области энергий фотонов hnu=0.8-2.0 эВ, темновую проводимость (sigmad) и фотопроводимость (Deltasigmaph). Измерения проводились при комнатной температуре. С увеличением температуры отжига наблюдалось немонотонное изменение alpha в области энергий hnu<1.2 эВ, sigmad и Deltasigmaph. Полученные результаты объясняются изменением концентрации электрически активных примесей и образованием дефектов вследствие вызванной отжигом эффузии водорода, а также реструктуризацией связей при высоких температурах отжига.
  • H. Stiebig, T. Brammer, J. Zimmer, O. Vetterl, H. Wagner. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 1104 (2000)
  • Y. Uchida, T. Ichimura, M. Ufno, H. Haruki. Jap. J. Appl. Phys., 21, L586 (1982)
  • D. Will, C. Lerner, W. Fuhs, K. Lips. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 467, 361 (1997)
  • M. Kondo, S. Yamasaki, A. Matsuda. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 544 (2000)
  • K. Lips, P. Kanschat, D. Will, C. Lerner, W. Fuhs. J. Non-Cryst. Sol., 227-230, 1021 (1998)
  • R. Fluckiger, J. Meier, M. Goetz, A. Shah. J. Appl. Phys., 77, 712 (1995)
  • N. Beck, J. Meier, J. Fric, Z. Remes, A. Poruba, R. Fluckiger, J. Pohl, A. Shah, M. Vanecek. J. Non-Cryst. Sol., 198-200, 903 (1996)
  • T. Itoh, K. Yamamoto, K. Ushikoshi, S. Nonomura, S. Nita. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 201 (2000)
  • И.А. Курова, А.Н. Лупачева, Н.В. Мелешко, Э.В. Ларина. ФТП, 28, 1092 (1994)
  • J.W. Orton, M.J. Powell. Rep. Progr. Phys., 43, 81 (1980)
  • А.Г. Казанский, Х. Мелл, Е.И. Теруков, П.А. Форш. ФТП, 36, 41 (2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.