"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние обработки ионами Ar низких энергий на характеристики рабочей и тыльной сторон подложки монокристаллического GaAs
Алалыкин А.С.1, Крылов П.Н.1, Федотова И.В.1, Федотов А.Б.2
1Удмуртский государственный университет, Ижевск, Россия
2Нижегородский государственный технический университет, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 10 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

Бесконтактными методами исследованы характеристики рабочей и тыльной сторон подложек монокристаллического арсенида галлия, подвергнутого обработке тыльной стороны ионами аргона низких энергий. Обнаружены изменения оптических и фотоэлектрических свойств облучаемых и необлучаемых сторон. Предложен солитонный механизм проникновения дефектов в глубь кристалла.
  • П.В. Павлов, В.И. Пашков, В.М. Генкин, Г.В. Камаева, В.П. Никишин, Ю.Н. Огарков, Г.И. Успенская. ФТТ, 15 (9), 2857 (1973)
  • В.А. Пантелеев, В.В. Черняховский, С.Н. Ершов. ФТТ, 16 (7), 2151 (1974)
  • Т.И. Кольченко, В.М. Ламако, И.Е. Марончук. ФТП, 15 (3), 580 (1981)
  • А.С. Алалыкин, А.А. Краснов, П.Н. Крылов, А.А. Стерхов, Ю.В. Рац. Тр. IX Межнац, совещ. "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 1999) с. 132
  • А.С. Акашкин, В.В. Бесогонов, В.М. Ветошкин, В.Ф. Кобзиев, П.Н. Крылов. Вакуумная техника и технология, 9 (2), 17 (1999)
  • Б.И. Бедный, А.Н. Калинин, И.А. Карпович. ФТП, 17 (7), 1302 (1983)
  • Оптические свойства полупроводников (полупроводниковые соединения A-=SUP=-III-=/SUP=-B-=SUP=-V-=/SUP=-), пер. с англ. под ред. Гросса (М., Мир, 1970)
  • Б.И. Бедный, А.Н. Калинин, И.А. Карпович, А.Н. Савинов. Изв. вузов СССР. Физика, 12, 84 (1984)
  • Б.И. Бедный, С.Н. Ершов, В.А. Пантелеев. ФТП, 19 (10), 1806 (1985)
  • Б.Я. Любов. Диффузионные процессы в неоднородных твердых средах (М., Наука, 1981) с. 295
  • Дж. Маннинг. Кинетика диффузии атомов в кристаллах (М., Мир, 1972)
  • С.А. Медведев. Введение в технологию полупроводниковых материалов. Учеб. пособие для специальности "Полупроводники и диэлектрики" вузов (М., Высш. шк., 1970)
  • K. Saarinen, A.P. Seitsonen, P. Hautojarvi, C. Corbel. Phys. Rev. B, 52 (15), 10 932 (2002)
  • В.П. Кладько, Т.Г. Крыштаб, Ю.С. Клейнфельд, Г.Н. Семенова, Л.С. Хазан. ФТП, 26 (2), 368 (1992)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.