"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Рамановская спектроскопия аморфного углерода, модифицированного железом
Ястребов С.Г.1, Иванов-Омский В.И.1, Думитраче Ф.2, Морошану К.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Национальный институт лазеров, плазмы и радиационной физики (отдел лазеров), п.я. MG-36, Бухарест, Румыния
3Национальный институт материаловедения, п.я. MG-7, Маргуреле, Бухарест, Румыния
Поступила в редакцию: 25 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

В пленках аморфного углерода, модифицированного железом, методом рамановского рассеяния исследованы спектры колебательных частот углерода в диапазоне 1000--1800 см-1. Концентрация железа в пленке задавалась технологически с помощью изменения отношения площадей графитовой и железной частей мишени от образца к образцу и контролировалась с помощью обратного резерфордовского рассеяния. Были выращены слои аморфного углерода, содержащие 3, 26, 38 и 54 ат% железа. Спектры рамановского рассеяния представляли собой широкую полосу с особенностями, характерными для аморфного углерода и лежащими вблизи 1332 см-1 (D-полоса) и 1552 см-1 (G-полоса). При концентрациях 38 и 54 ат% железа спектр распадается на ряд полос, что свидетельствует о фрагментации матрицы аморфного углерода с ростом концентрации железа. Показано, что интегральная амплитуда рассеяния нелинейно уменьшается с увеличением содержания железа в образце. Эффект исследован с помощью модели, учитывающей линейную зависимость скорости изменения концентрации атомов, дающих вклад в рассеяние, при изменении атомной доли углерода от общего числа атомов углерода в пленке.
  • T. Hayashi, S. Hirono, M. Tomita, S. Umemura. Nature, 381, 772 (1996)
  • J. Jiao, S. Seraphin. J. Appl. Phys., 83 (5), 2442 (1998)
  • T. Cabioc'h, A. Naudon, M. Jaouen, D. Thiaudiere, D. Babonneau. Phil. Mag. B, 79 (3), 501 (1999)
  • J.-J. Delaunay, T. Hayashi, M. Tomita, S. Hirono. J. Appl. Phys., 82 (5), 2200 (1997)
  • Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, Г.С. Фролова, В.М. Лебедев, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 36 (6), 734 (2003)
  • C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 61 (20), 14 095 (2000)
  • F. Tuinstra, J.L. Koenig. J. Chem. Phys., 53 (3), 1126 (1970)
  • В.И. Иванов-Омский, Т.К. Звонарева, Г.С. Фролова. ФТП, 34 (12), 1450 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.