Влияние процесса формирования единичного кластера радиационных дефектов на проводимость канала транзисторной структуры
Забавичев И.Ю.
1,2, Пузанов А.С.
1,2, Оболенский С.В.
1,21Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова, Нижний Новгород, Россия
Email: zabavichev.rf@gmail.com, aspuzanov@inbox.ru, obolensk@rf.unn.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2022 г.
В окончательной редакции: 25 марта 2022 г.
Принята к печати: 25 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 11 июня 2022 г.
Исследовано влияние формирования единичного кластера радиационных дефектов на характеристики короткоканальных структур. Проведены оценки величины энергии ядерной частицы, способной сформировать кластер радиационных дефектов, вызывающий сбой и отказ работы современных кремниевых транзисторов с различными размерами рабочих областей. Ключевые слова: короткоканальный транзистор, кластер радиационных дефектов, одиночный сбой.
- А.С. Давыдов. Теория твердого тела (М., Наука, 1976)
- А.С. Пузанов, С.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 49 (1), 71 (2015)
- С.В. Оболенский. Изв. вузов. Электроника, 4, 49 (2003)
- И.Ю. Забавичев, А.А. Потехин, А.С. Пузанов, С.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 51 (11), 1520 (2017)
- К.О. Петросянц, И.А. Харитонов, Е.В. Орехов, Л.М. Самбурский, А.П. Ятманов, А.В. Воеводин. Сб. Тр. 5-й Всеросс. науч.-техн. конф. "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем --- 2012" (М., 2012) с. 413
- А.С. Пузанов, С.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 54 (8), 791 (2020)
- Б.А. Калин. Физическое материаловедение. Т. 4. Физические основы прочности. Радиационная физика твердого тела. Компьютерное моделирование (М., МИФИ, 2008)
- J.F. Ziegler, J.P. Biersak, U. Littmark. The stopping and range of ions in solids (Pergamon, N.Y., 1996)
- S. Plimton. J. Comput. Phys., 117, 1 (1995)
- D. Duffy, A. Rutherford. J. Phys.: Condens. Matter, 19, 016207 (2007)
- M. Ester, H.P. Kriegel, J. Sander, X. Xu. Proc. Second Int. Conf. on Knowledge Discovery and Data Mining (KDD-96) (AAAI Press, 1996) р. 226
- L.G. Khachiyan. Mathematics of Operations Res., 21 (2), 307 (1996)
- И.Ю. Забавичев, А.А. Потехин, А.С. Пузанов, C.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 53 (9), 1279 (2019)
- C.J.F. Bottcher. Theory of Electric Polarisation (Elsevier, N.Y., 1952) p. 415
- International Roadmap for Devices and Systems. 2017 Edition, Copyright \& 2018 IEEE
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
