Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование трибоэлектрических зарядов в тонких диэлектрических и полупроводниковых пленках методами сканирующей зондовой микроскопии
Российский научный фонд, грант No 22-22-20084 (https://rscf.ru/project/22-22-20084/)
Санкт-Петербургский научный фонд, соглашение от 14 апреля 2022 г., грант No 24/2022
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: katgushch@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2022 г.
В окончательной редакции: 25 марта 2022 г.
Принята к печати: 25 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 11 июня 2022 г.
Выполнены исследования трибоэлектрических зарядов на тонких пленках high-k диэлектриков LaScO3, полупроводниковых "флэйках" MoSe2 и сегнетоэлектрических PZT пленках методами сканирующей зондовой микроскопии. Показано, что величина накапливаемого трибоэлектрического заряда в данных пленках зависит от их толщины. Наиболее сильный эффект наблюдается в PZT пленке толщиной 100 нм и пленке LaScO3 толщиной 6 нм. Также экспериментально обнаружена зависимость величины регистрируемого трибоэлектрического потенциала от силы прижима и материала зонда. Ключевые слова: СЗМ исследования, трибоэлектрические заряды, тонкие пленки, сегнетоэлектрические пленки.
- F.R. Fan, Z.Q. Tian, Z.L. Wang. Nano Energy, 1, 328 (2012)
- Y. Liu, J. Ping, Y. Ying. Adv. Functional Mater., 31, 2009994 (2021)
- Y. Meng, J. Zhao, X Yang, C. Zhao, S. Qin, J.H. Cho, C. Zhang, Q. Sun, Zhong, L. Wang. ACS Nano, 12, 9381 (2018)
- M. Seol, S. Kim, Y. Cho, K.E. Byun, H. Kim, J. Kim, S.K. Kim, S.W. Kim, H.J. Shin, S. Park. Adv. Mater., 30 (39), 1801210 (2018)
- Yu.S. Zhou, Y. Liu, G. Zhu, Z.-H. Lin, C. Pan, Q. Jing, Z.L. Wang. Nano Lett., 13 (6), 2771 (2013)
- S. Lin, Zh. Lin Wang. Appl. Phys. Lett., 118, 193901 (2021)
- J.M.J. Lopes., U. Littmark, M. Roeckerath, St. Lenk, J. Schubert, S. Mantl. J. Appl. Phys., 101, 104109 (2007)
- P.A. Alekseev, M.S. Dunaevskii, E.V. Gushchina, E.D. Ozben. Techn. Phys. Lett., 39 (5), 427 (2013)
- L.A. Delimova, E.V. Gushchina, N.V. Zaitseva, D.S. Seregin, K.A. Vorotilov, A.S. Sigov. Phys. Solid State, 60 (3), 553 (2018)
- R. Yang, R. Xu, W. Dou, M. Benner. Nano Energy, 83, 105849 (2021)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
