"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Редкоземельные элементы в технологии соединений AIIIB V и приборов на их основе
Гореленок А.Т.1, Каманин А.В.1, Шмидт Н.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.

Обобщены результаты наших исследований по использованию редкоземельных элементов в жидкофазной эпитаксиальной технологии InP, InGaAsP, InGaAs, GaP и по созданию на их основе различных опто- и микроэлектронных приборов и структур, а также результаты по поверхностному геттерированию GaAs пленками редкоземельных элементов для получения высокоомного материала различного назначения.
  • J. Mandelkorn, L. Schwartz, J. Broder, H. Kautz. J. Appl. Phys., 35, 2258 (1964)
  • Н.Т. Баграев, Е.П. Бочкарев, Л.С. Власенко, В.П. Гришин, Р.А. Житников, Ю.А. Карпов. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 14, 614 (1978)
  • Г.В. Лашкарев, А.И. Дмитриев, Г.А. Сукач, В.А. Шершель. ФТП, 5, 2075 (1971)
  • С.И. Пышкин, С.И. Радуцан, С.В. Слободчиков. ФТП, 1, 1013 (1967)
  • L.F. Zakharenkov, V.V. Kozlovskii, A.T. Gorelenok, N.M. Shmidt. In: Semiconductor Technology. Processing and Novel Fabrication Techniques (N. Y-Chichester-Weinheim-Brisbane-Singapore-Toronto, John Wiley \& Sons, Inc., 1997) p. 91
  • A.T. Gorelenok, A.V. Kamanin, N.M. Shmidt. Microelectron. J., 26, 705 (1995)
  • В.А. Касаткин, Ф.П. Кесаманлы, В.Г. Макаренко, Н.С. Целищева. ФТП, 15, 1414 (1981)
  • H. Ennen, J. Schneider. J. Electron. Mater., 13, 114 (1984)
  • В.Ф. Мастеров, Л.Ф. Захаренков. ФТП, 24, 610 (1984)
  • H. Nakagome, K. Takahei. Jap. J. Appl. Phys., 28, L2098 (1989)
  • K. Thonke, H.U. Hermann, J. Schneider. J. Phys. C: Sol. St. Phys., 21, 5881 (1988)
  • D.L. Adler, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, M.A. Marcus, J.L. Benton, J.M. Poate, P.H. Citrin. Appl. Phys. Lett., 61, 2181 (1992)
  • M.M. Factor, J. Haigh. US Patent C30B29/40 N 4339302 (1982)
  • К.А. Гацоев, А.Т. Гореленок, С.И. Карпенко, В.В. Мамутин, Р.П. Сейсян. ФТП, 17, 2148 (1983)
  • Н.Т. Баграев, Л.С. Власенко, К.А. Гацоев, А.Т. Гореленок, А.В. Каманин, В.В. Мамутин, Б.В. Пушный, В.К. Тибилов, Ю.П. Толпаров, А.Е. Шубин. ФТП, 18, 83 (1984)
  • W. Korber, J. Weber, A. Hangleiter, K.W. Benz, H. Ennen, H.D. Muller. J. Cryst. Growth, 79, 741 (1986)
  • A.V. Markov, A.Y. Polyakov, N.B. Smirnov, A.V. Govorkov, V.K. Eremin, E.M. Verbitskaya, V.N. Gavrin, Y.P. Kozlova, Y.P. Veretenkin, T.J. Bowles. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 439, 651 (2000)
  • В.Ф. Андриевский, А.Т. Гореленок, Н.А. Загорельская, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт. ФТП, 36, 404 (2002)
  • F. Hulliger. In: Handbook on the Physics and Chemistry of Rare Earth, ed. by K.A. Schneider, L. Eyring (Amsterdam, North-Holland, 1979) v. 4, p. 153
  • H. Nakagome, K. Takanei, Y. Homma. J. Cryst. Growth, 85, 345 (1987)
  • O. Aina, M. Mattingly, S. Steinhauser, R. Mariella, Jr., A. Melas. J. Cryst. Growth, 21, 215 (1988)
  • В.Н. Романенко, В.С. Хейфец. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 9, 190 (1973)
  • В.Х. Байрамов, Л.Ф. Захаренков, Г.В. Ильменков, В.Ф. Мастеров, В.В. Торопов. ФТП, 23, 1496 (1989)
  • А.Т. Гореленок, В.Г. Груздов, Р. Кумар, В.В. Мамутин, Т.А. Полянская, И.Г. Савельев, Ю.В. Шмарцев. ФТП, 22, 35 (1988)
  • Ю.А. Карпов, В.В. Мазуренко, В.В. Петров, В.С. Просолович, В.Д. Ткачев. ФТП, 18, 368 (1984).
  • В.Г. Голубев, А.Т. Гореленок, В.И. Иванов-Омский, В.В. Мамутин, И.Г. Минервин, А.В. Осутин. Письма ЖТФ, 11, 347 (1985)
  • А.Т. Гореленок, В.В. Мамутин, Д.В. Пуляевский, Д.Н. Рехвиашвили, Н.М. Шмидт. ФТП, 21, 1514 (1987)
  • А. Галаванаускас, А.Т. Гореленок, З. Добровольскис, С. Кершулись, Ю. Пожела, А. Реклайтис, Н.М. Шмидт. ФТП, 22, 1672 (1988)
  • В. Балинас, А.Т. Гореленок, А. Кроткус, А. Сталненис, Н.М. Шмидт. ФТП, 24, 848 (1990)
  • В.Г. Голубев, А.Т. Гореленок, В.И. Иванов-Омский, И.Г. Минервин, А.В. Осутин. Изв. АН СССР. Сер. физ., 50, 282 (1986)
  • C. Aldreich, R.L. Greene. Phys. St. Sol. (b), 93, 343 (1979)
  • Ж.И. Алфёров, А.Т. Гореленок, А.В. Каманин, В.В. Мамутин, Т.А. Полянская, И.Г. Савельев, И.И. Сайдашев, Ю.В. Шмарцев. ФТП, 18, 1230 (1984)
  • А.Т. Гореленок, Д.Н. Рехвиашвили, М.Ю. Надточий, В.М. Устинов. Письма ЖТФ, 16 (8), 47 (1990)
  • А.Т. Гореленок, Д.Н. Рехвиашвили, М.Ю. Надточий, В.М. Устинов. ФТП, 25, 908 (1991)
  • А.Т. Гореленок, М.В. Шпаков. ФТП, 30, 488 (1996)
  • A.T. Gorelenok, A.V. Kamanin, M.V. Shpakov. Inst. Phys. Conf. Ser., 155, 385 (1997)
  • В.И. Борисов, А.Т. Гореленок, С.Г. Дмитриев, В.Е. Любченко, Д.Н. Рехвиашвили, А.С. Роганков. ФТП, 26, 611 (1992)
  • Ж.И. Алфёров, А.Т. Гореленок, В.Г. Дальниченко, А.В. Каманин, В.И. Корольков, В.В. Мамутин, Т.С. Табаров, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 9, 1516 (1983)
  • А.Т. Гореленок, В.Г. Данильченко, З.П. Добровольскис, В.И. Корольков, В.В. Мамутин, Т.С. Табаров, Н.М. Шмидт, Д.В. Пуляевский. ФТП, 19, 1460 (1985)
  • В.М. Андреев, М.С. Богданович, А.Т. Гореленок, В.Г. Груздов, В.Г. Дальниченко, М.З. Жингарев, Н.Д. Ильинская, Л.Б. Карлина, В.И. Корольков, В.В. Мамутин, И.А. Мокина, Н.М. Сараджишвили, Л.М. Федоров, Н.М. Шмидт. ЖТФ, 55, 1566 (1985)
  • В.М. Андреев, А.Т. Гореленок, М.З. Жингарев, Л.Е. Клячкин, В.В. Мамутин, Н.М. Сараджишвили, В.И. Скопина, О.В. Сулима, Н.М. Шмидт. ФТП, 19, 668 (1985)
  • В.А. Волков, А.Т. Гореленок, В.Н. Лукьянов, И.А. Рачков, Д.Н. Рехвиашвили, Н.М. Шмидт, С.Д. Якубович. Письма ЖТФ, 12, 1059 (1987)
  • K. Nishida, K. Taguchi, Y. Matsumoto. Appl. Phys. Lett., 35, 251 (1979)
  • S.R. Forrest. IEEE J. Quant. Electron., 17, 217 (1981)
  • O.K. Kim, S.R. Forrest, W.A. Bonner, R.G. Smith. Appl. Phys. Lett., 39, 402 (1981)
  • Ж.И. Алфёров, М.Г. Васильев, А.Т. Гореленок, Н.Д. Ильинская, Н.Г. Лозовая, В.В. Мамутин, Т.А. Маркова, А.А. Шелякин. Письма ЖТФ, 8, 722 (1982)
  • М.С. Богданович, В.И. Корольков, Н. Рахимов, Т.С. Табаров. Письма ЖТФ, 11, 89 (1985)
  • А.Т. Гореленок, В.Г. Груздов, В.Г. Дальниченко, Н.Д. Ильинская, В.И. Корольков, В.В. Мамутин, И.А. Мокина, Н.М. Сараджишвили, Т.С. Табаров, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 10, 1294 (1984)
  • S. Loualiche, H. L'Haridon, A. Le Corre, D. Lecrosnier, M. Salvi, P.N. Favennec. Appl. Phys. Lett., 52, 540 (1988)
  • Ж.И. Алфёров, В.И. Босый, А.Т. Гореленок, А.В. Иващук, Н.Д. Ильинская, М.Н. Мизеров, И.А. Мокина, Д.Н. Рехвиашвили, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 14, 2001 (1988)
  • А.Т. Гореленок, В.Л. Крюков, Г.П. Фурманов. Письма ЖТФ, 20 (13), 60 (1994)
  • N. Shmidt, A. Gorelenok, V.V. Emtsev, A. Kamanin, A. Markov, M. Mezdrogina, D.S. Poloskin, L. Vlasenko. Sol. St. Phenomena, 69-70, 279 (1999)
  • Л.С. Власенко, А.Т. Гореленок, В.В. Емцев, А.В. Каманин, Д.С. Полоскин, Н.М. Шмидт. ФТП, 35, 184 (2001)
  • Л.С. Власенко, А.Т. Гореленок, В.В. Емцев, А.В. Каманин, С.И. Кохановский, Д.С. Полоскин, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 21 (1), 19 (2001)
  • В.Ф. Андриевский, А.Т. Гореленок, Н.А. Загорельская, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт. ФТП, 36, 404 (2002)
  • В.Ф. Андриевский, А.Т. Гореленок, Н.А. Загорельская, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 27 (23), 67 (2001)
  • L. Pavesi, M. Guzzi. J. Appl. Phys., 75, 4779 (1994)
  • A.T. Gorelenok, V.F. Andrievskii, A.V. Kamanin, S.I. Kokhanovskii, M.M. Mezdrogina, N.M. Shmidt, V.I. Vasil'ev. J. Phys. Condens Matter., 14, 13 105 (2002)
  • A.T. Gorelenok, V.F. Andrievskii, A.V. Kamanin, S.I. Kokhanovskii, N.M. Shmidt. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 186, 240 (2002)
  • A.T. Gorelenok, V.F. Andrievskii, A.V. Kamanin, S.I. Kokhanovskii, N.M. Shmidt. Proc-2001 European Microwave Week: GaAs' 2001 Conference (Sept. 24-25 2001, London, England) p. 13.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.