"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Фотоэлектрические явления в гетероструктурах ZnO : Al--p-Si
Никитин С.Е.1, Николаев Ю.А.1, Полушина И.К.1, Рудь В.Ю.2, Рудь Ю.В.1, Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.

Методом магнетронного распыления получены пленки оксида цинка, легированные алюминием (ZnO : Al). На основании исследования их электрических свойств показано, что концентрация электронов в них достигает 5·1020 см-3 и в диапазоне температур 77-300 K практически постоянна, что указывает на высокую эффективность легирования ZnO примесью Al. Установлено, что осаждение тонких пленок (d~1 мкм) на поверхность (111) p-Si приводит к получению гетероструктур с максимальной фоточувствительностью ~400 В/Вт при T=300 K, которая осциллирует в спектральном диапазоне 1.3-3.5 эВ. При наклонном падении линейно поляризованного излучения в таких гетероструктурах возникает наведенный фотоплеохроизм, величина которого осциллирует в диапазоне 5-40% (theta~75o), что связано с интерференционными явлениями в пленках ZnO. Сделано заключение о возможностях применения полученных гетероструктур в качестве узкоселективных фотосенсоров естественного и линейно-поляризованного излучений.
  • N. Mardeesich. In: Proc. 15th IEEE Photovolt. Spec. Conf., Kissimee, 1981. [IEEE, N 4, 446 (1981)]
  • М.М. Колтун. Оптика и метрология солнечного излучения (М., Наука, 1985)
  • T. Minami, T. Yamamoto, T. Miata. Thin Sol. Films, 366, 63 (2000)
  • J. Hu, R.C. Gordon. J. Appl. Phys., 71, 880 (1992)
  • H. Fujiwara, M. Okuda. Jap. Appl. Phys., 35L, 5457 (1996)
  • Г.С. Ландсберг. Оптика (М., Наука, 1976)
  • Справочник. Физико-химические свойства полупроводниковых веществ (М., Наука, 1978)
  • Ф.П. Кесаманлы, В.Ю. Рудь, Ю.В. Рудь. ФТП, 33, 513 (1999)
  • В.М. Ботнарюк, А.В. Коваль, В.Ю. Рудь, Ю.В. Рудь, А.В. Симашкевич, Д.А. Щербань. ФТП, 31, 800 (1997)
  • Т. Вальтер, В.Ю. Рудь, Ю.В. Рудь, Г.В. Шок. ФТП, 36, 1128 (2000)
  • Ю.А. Николаев, В.Ю. Рудь, Ю.В. Рудь, Е.И. Теруков, W. Fuhs, A. Froitzheim. ФТП, 36, 1128 (2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.