"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Нелинейность пьезорезистивного эффекта в пленках поликристаллического кремния
Гридчин В.А.1, Любимский В.М.1
1Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 3 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 20 января 2004 г.

Проведено феноменологическое описание пьезорезистивных свойств пленок поликристаллического кремния с помощью тензоров эластосопротивления и пьезосопротивления в квадратичном приближении, учитывающее симметрию пленки. Получены формулы для вычисления коэффициентов пьезосопротивления 2-го порядка поликремниевых пленок для некоторых текстур и изотропии через коэффициенты пьезосопротивления 2-го порядка монокристаллического кремния. Наблюдается удовлетворительное согласие экспериментальных и рассчитанных коэффициентов пьезосопротивления в области сильного легирования.
  • V. Mosser, J. Suski, J. Goss, E. Obermeir. Sensors Actuators A, 28, 113 (1991)
  • J. Suski, V. Mosser, J. Goss. Sensors Actuators, 17, 405 (1989)
  • J. Suski, V. Mosser, G. Le Roux. Electrochem. Soc. Conf. (San Diego, CA, USA, Oct. 1986) p. 331
  • E. Obermeir. Ph.D. Thesis (University of Munich, 1983)
  • P.H. French, A.G.R. Evans. Sensors Actuators, 7, 135 (1985)
  • D. Shubert, W. Jenschke, T. Uhlig, F.M. Schmidt. Sensors Actuators, 11, 145 (1987)
  • V.A. Gridchin, V.M. Lubimsky, M.P. Sarina. Sensors Actuators A, 49, 67 (1995)
  • P.H. French, A.G.R. Evans. Electron. Lett., 24, 999 (1984)
  • T. Toriyama, Y. Yokoyama, S. Sugiyama. Sensors Materials, 12, 473 (2000)
  • P.H. French, A.G.R. Evans. Sol. St. Electron., 32, 1 (1989)
  • M. Le Berre, M. Lemiti, D. Barbier, P. Pinard, J. Cali, E. Bustarret, J. Sicart, J.L. Robert. Sensors Actuators A, 46--47, 166 (1995)
  • Bossche, J.R. Mollinger. Sensors Actuators A, 62, 475 (1997)
  • В.А. Гридчин, В.М. Любимский. Микроэлектроника, 32, 261 (2003)
  • V.A. Gridchin, V.M. Lubimsky, M.P. Sarina. Proceedings Measurement' 97 (Smolenice, 1997) p. 74
  • W. Voigt. Lehrbuch der Kristallphysik (Verlag B.G. Teubner, Leipzig, 1910)
  • Ю.И. Сиротин, М.П. Шаскольская. Основы кристаллофизики (М., Наука 1975)
  • N.C.C. Lu, L. Gerzberg, C.Y. Lu, J.D. Meindl. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-28, 818 (1981)
  • D.M. Kim, A.N. Khondker, S.S. Ahmed, R.R. Shah. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-31, 480 (1984)
  • K. Matsuda, Y. Kanda, K. Yamamura, K. Suzuki. Jap. J. Appl. Phys., 29, L1941 (1990)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.