"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Взаимодействие инфракрасного излучения со свободными носителями заряда в мезопористом кремнии
Осминкина Л.А.1, Курепина Е.В.1, Павликов А.В.1, Тимошенко В.Ю.1, Кашкаров П.К.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 8 июля 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Исследовано поглощение и отражение инфракрасного излучения в диапазоне 500-6000 см-1, связанное со свободными носителями заряда в слоях мезопористого кремния (пористость 60-70%), сформированных из монокристаллических пластин p-Si с концентрацией дырок Np~1020 см-3 ориентации (100). Установлено, что вклад свободных дырок в оптические параметры образцов уменьшается с ростом их пористости, а также дополнительно падает при естественном окислении на воздухе. Экспериментальные результаты объяснены в рамках модели, основанной на приближении эффективной среды Бруггемана и классической теории Друде с поправкой на дополнительное рассеяние носителей заряда в кремниевых остатках (нанокристаллах). Сравнение расчетных и экспериментальных зависимостей дает значение концентрации дырок в нанокристаллах Np~1019 см-3 для свежеприготовленных слоев и показывает снижение Np в процессе их естественного окисления.
  • A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82, 909 (1997)
  • O. Bisi, S. Ossicini, L. Pavesi. Surf. Sci. Rep., 38, 1 (2000)
  • N. Kunzner, D. Kovalev, J. Diener, E. Gross, V.Yu. Timoshenko, G. Polisski, F. Koch, M. Fujii. Opt. Lett., 26, 1265 (2001)
  • L.A. Golovan, V.Yu. Timoshenko, A.B. Fedotov, L.P. Kuznetsova, D.A. Sidorov-Biryukov, P.K. Kashkarov, A.M. Zheltikov, D. Kovalev, N. Kunzner, E. Gross, J. Diener, G. Polisski, F. Koch. Appl. Phys. B, 73, 31 (2001)
  • D. Kovalev, V.Yu. Timoshenko, E. Gross, N. Kunzner, F. Koch. Phys. Rev. Lett., 87, 068 301 (2001)
  • D. Kovalev, E. Gross, N. Kunzner, F. Koch, V.Yu. Timoshenko, M. Fujii. Phys. Rev. Lett., 89, 137 401 (2002)
  • V. Lehmann, F. Hofmann, F. Moller, U. Gruning. Thin Sol. Films, 255, 20 (1995)
  • G. Polisski, D. Kovalev, G.G. Dollinger, T. Sulima, F. Koch. Physica B, 273--274, 951 (1999)
  • V.Yu. Timoshenko, Th. Dittrich, V. Lysenko, M.G. Lisachenko, F. Koch. Phys. Rev. B, 64, 085 314 (2001)
  • V.Yu. Timoshenko, L.A. Osminkina, A.I. Efimova, L.A. Golovan, P.K. Kashkarov, D. Kovalev, N. Kunzner, E. Gross, J. Diener, F. Koch. Phys. Rev. B, 67, 113 405 (2003)
  • W. Theib. Surf. Sci. Rep., 29, 91 (1997)
  • Ю.И. Уханов. Оптические свойства полупроводников (М., Наука, 1977)
  • П.К. Кашкаров, Е.А. Константинова, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 30, 1479 (1996)
  • D.A.G. Bruggeman. Ann. Phys., 24, 636 (1935)
  • К.В. Шалимова. Физика полупроводников (М., Энергоатомиздат, 1985)
  • М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (М., Наука, 1970)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.