"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние давления и водорода на образование вакансий и дивакансий в кристаллическом кремнии
Заводинский В.Г.1, Гниденко А.А.1, Мисюк А.2, Бак-Мисюк Я.3
1Институт материаловедения Дальневосточного отделения Российской академии наук, Хабаровск, Россия
2Институт электронной технологии, 02-668 Варшава, Польша
3Институт физики Польской академии наук, 02-668 Варшава, Польша
Поступила в редакцию: 30 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.

Методами теории функционала электронной плотности и псевдопотенциала исследовано влияние водорода и давления на формирование вакансий и дивакансий в кремнии. Показано, что в присутствии водорода энергия формирования вакансий может снижаться на величину от 1.8 до 3.5 эВ, а энергия формирования дивакансий на величину от 2 до 5.4 эВ, и становится возможным спонтанное возникновение вакансий и их комплексов при высоких концентрациях водорода. Вместе с тем наличие водорода делает кремний менее чувствительным к давлению и при больших концентрациях может полностью подавить тенденцию дополнительного образования вакансий под действием давления.
  • C.G. Van de Walle, P.J.H. Denteneer, Y. Bar-Yam, S.T. Pantelides. Phys. Rev. B, 39, 10 791 (1989)
  • J.W. Corbett, S.N. Sahu, T.S. Shi, L.C. Snyder. Phys. Lett. A, 93, 303 (1983)
  • A. Mainwood, A.M. Stoneham. Physica B + C, 116, 101 (1983); J. Phys. C, 17, 2513 (1984)
  • C.G. Van de Walle, Y. Bar-Yam, S.T. Pantelides. Phys. Rev. Lett., 60, 2761 (1988)
  • S.K. Estreicher, J.L. Hastings, P.A. Fedders. Phys. Rev. B, 57, R12663 (1998)
  • M.A. Roberson, S.K. Estreicher. Phys. Rev. B, 49, 17 040 (1994)
  • C.G. Van de Walle. Phys. Rev. B, 49, 4579 (1994)
  • A. Misiuk, H.B. Surma, I.V. Antonova, V.P. Popov, J. Bak-Misiuk, M. Lopez, A. Romano-Rodriguez, A. Barcz, J. Jun. Sol. St. Phenomena, 69--70, 345 (1999)
  • A. Antonelli, J. Bernholc. Phys. Rev. B, 40, 10 643 (1989)
  • P. Hohenberg, W. Kohn. Phys. Rev., 136, 864 (1964)
  • D.M. Ceperley, B.J. Alder. Phys. Rev. Lett., 45, 567 (1980)
  • J.P. Perdew, A. Zunger. Phys. Rev. B, 23, 5048 (1981)
  • N. Troullier, J.L. Martins. Phys. Rev. B, 43, 1993 (1991)
  • M. Bockstedte, A. Kley, J. Neugebauer, M. Scheffler. Comp. Phys. Commun., 107, 187 (1997)
  • T.J. Lenosky, J.D. Kress, I. Kwon, A.F. Voter, B. Edwards. Phys. Rev. B, 55, 1528 (1997)
  • M. Tang, L. Colombo, J. Zhu, T.D. de la Rubia. Phys. Rev. B, 55, 14 279 (1997)
  • N. Bernstein, M.J. Mehl, D. Papaconstantopoulos, N.I. Papanicolaou, M.Z. Bazant, E. Kaxiras. Phys. Rev. B, 62, 4477 (2000)
  • K.G. Nakamura, K. Ishioka, M. Kitajima, K. Murakami. Sol. St. Commun., 101, 735 (1997)
  • H. Takaba, A. Endou, A. Yamada, M. Kubo, K. Teraishi, K.G. Nakamura, K. Ishioka, M. Kitajima, A. Miyanoto. Jap. J. Appl. Phys., 39, 2744 (2000)
  • S. Ov gut, H. Kim, J. Chelikowsky. Phys. Rev. B, 56, R11353 (1997)
  • O. Sugino, A. Oshiyama. Phys. Rev. Lett., 68, 1858 (1992)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.