"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Механизм низкотемпературных стимулированных процессов плазменного анодирования металлов и полупроводников
Бибилашвили А.П.1, Герасимов А.Б.1
1Тбилисский государственный университет им. И. Джавахишвили, Тбилиси, Грузия
Поступила в редакцию: 30 марта 2004 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.

Предложен механизм стимулирования низкотемпературного плазменного анодирования с использованием катализатора или ультафиолетового облучения при получении оксидных пленок металлов и полупроводников. Стимулирующее действие этих воздействий на процесс плазменного анодирования объясняется появлением дополнительной концентрации антисвязывающих квазичастиц (электронов и дырок), ослабляющих химические связи анодируемого вещества. Приводятся условия проведения стимулированных процессов.
  • В.П. Пархутик, В.А. Лабунов. Плазменное анодирование --- физика, техника, применение в микроэлектронике (Минск: Наука i техника, 1990), с. 276
  • S. Gourrier, A. Mircea, M. Bacal. Thin Sol. Films, 65 (3), 315 (1980)
  • M. Croset, G. Velasco. Патент Франции N 7727470, H01L 21/00 (1979)
  • J. Perriere, J. Siejka, S. Rigo. Corros Sci., 20 (1), 91 (1980)
  • S. Gourrier, J.B. Theeten. Appl. Phys. Lett., 38 (1), 33 (1981)
  • А.П. Бибилашвили, А.Б. Герасимов, Г.Б. Чахунашвили. А.с. N 551972, H01L 21/00 (1976)
  • С.В. Барасьев, А.П. Бибилашвили, А.Б. Герасимов. А.с. N 1017124. H01L 21/00 (1983)
  • А.П. Бибилашвили, М.Т. Вепхвадзе, А.Б. Герасимов, Р.Е. Казаров, З.Д. Самадашвили. ЖТФ, 25 (15), 5 (1999)
  • А.П. Билилашвили. Физика и химия обраб. материалов, N 5, 40 (2001)
  • С.В. Барасьев, А.П. Бибилашвили, А.Б. Герасимов. А.с. N 1172412, H01L 24/00 (1985)
  • К. Тейлор, Н. Дарби. Физика редкоземельных соединений (М., Мир, 1978)
  • В.И. Фистуль. Физика и химия твердого тела (М., Металлургия, 1995) т. 2
  • Л. Полинг, П. Полинг. Химия (М., Мир, 1978)
  • А.Н. Кочарян, Д.И. Хомский. Журн. ВРХО им. Д.И. Менделеева, т. XXVI, 39 (1981)
  • J.F. O'Hanlon, W.B. Pennebakei. Appl. Phys. Lett., 18 (12), 554 (1971)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.