"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние состояния водорода в решетке на эффективность введения донорных центров в кислородсодержащем кремнии
Болотов В.В.1, Камаев Г.Н.2, Носков А.В.1, Черняев С.А.2, Росликов В.Е.1
1Омский филиал Института физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
2Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 6 мая 2005 г.
Выставление онлайн: 20 января 2006 г.

Проведены исследования эффективности введения донорных центров в кислородсодержащем Si при термообработках при 450oC после предварительной гидрогенизации в плазме водорода и облучения gamma-квантами 60Co. Показано, что максимальная скорость введения донорных центров наблюдается в образцах, содержащих водород в атомарной форме. Облучение Si gamma-квантами 60Co с предварительно гидрогенизированным в плазме водорода слоем приводит к высвобождению атомарного водорода из связанных состояний. Это повышает скорость введения донорных центров при последующих термообработках при 450oC. PACS: 81.40.Ef, 81.40.-g, 61.80.Ed, 73.30.+y
  • W. Kaiser, H. Frisch, H. Reiss. Phys. Rev., 112, 1546 (1958)
  • В.М. Бабич, Н.И. Блецкан, Е.Ф. Венгер. Кислород в монокристаллах кремния (Киев, Интерпрес ЛТД, 1997)
  • R.C. Newman. J. Phys.: Condens. Matter, 12, R335 (2000)
  • В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 34, 1039 (2000)
  • R. Murray. Physica B, 170, 115 (1991)
  • S.K. Estreicher. Phys. Rev. B, 41, 9886 (1990)
  • S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys., A43, 153 (1987)
  • В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности (М., Наука, 1990)
  • V.V. Bolotov, V.M. Emeksuzyan, G.L. Plotnikov. K. Schmalz. Phys. Status Solidi (a), 137, 67 (1993)
  • G.N. Kamaev, S.A. Chern'aev, V.V. Bolotov, M.D. Efremov. Sol. St. Phenomena, 82-- 84, 99 (2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.