Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Определение состава и механических деформаций в GexSi(1-x)-гетероструктурах из данных спектроскопии комбинационного рассеяния света: уточнение параметров модели
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия 
Поступила в редакцию: 3 февраля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2006 г.
Метод спектроскопии комбинационного рассеяния света использовался для контроля состава и деформаций пленок твердых растворов GexSi1-x с 0.17=<q x=<q 1.0. Состав и деформации в пленках были определены также из данных дифракции рентгеновских лучей. В спектрах комбинационного рассеяния анализировалось не только положение, но и интенсивность пиков рассеяния на колебаниях Ge-Ge-, Ge-Si- и Si-Si-связей. Это позволило существенно уточнить некоторые параметры модели для расчета состава и деформаций в гетероструктурах GexSi1-x/Si(100) из данных спектроскопии комбинационного рассеяния. PACS: 63.22.+m, 81.15.Hi, 78.30.Am
- Ю.Б. Болховитянов, О.П. Пчеляков, Л.В. Соколов, С.И. Чикичев. ФТП, 37, 513 (2003)
- Light Scattering in Solids V. Superlattices and Other Microstructures, ed. by M. Cardona, G. Gunterodt (Berlin, Springer-Verlag, 1989) p. 351
- D.W. Feldman, M. Ashkin, J. H. Parker. Jr. Phys. Rev. Lett., 17, 1209 (1966)
- W.J. Brya. Sol. St. Commun., 12, 253 (1973)
- V. Srivastava, K. Joshi. Phys. Rev. B, 8, 4671 (1973)
- M.I. Alonso, K. Winer. Phys. Rev. B, 39, 10 056 (1989)
- H.D. Fuchs, G.H. Grein, M.I. Alonso, M. Cardona. Phys. Rev. B, 44, 13 120 (1991)
- P.M. Mooney, F. Dacol, J.C. Tsang, J.O. Chu. Appl. Phys. Lett., 62, 2069 (1993)
- J.C. Tsang, P.M. Mooney, F. Dacol, J.O. Chu. J. Appl. Phys., 75, 8098 (1994)
- P.H. Tan, K. Brunner, D. Bougeard, G. Abstreiter. Phys. Rev. B, 68, 125 302-(1-6) (2003)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, M.A. Revenko, L.V. Sokolov. Thin Sol. Films, 466, 69 (2004)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, M.A. Revenko, L.V. Sokolov. J. Appl. Phys., 96, 7665 (2004)
- A.V. Kolobov. J. Appl. Phys., 87, 2926 (2000)
- A. Ourmazd, J.C. Bean. Phys. Rev. Lett., 55, 765 (1985)
- D.J. Lockwood, K. Rajan, E.W. Fenton, J.-M. Baribeau, M.W. Denhoff. Sol. St. Commun., 61, 465 (1987)
- М.М. Волькенштейн. ДАН СССР, 32, 185 (1941)
- G. Nelin, G. Nilsson. Phys. Rev. B, 5, 3151 (1972)
- В.А. Володин, М.Д. Ефремов, А.И. Никифоров, Д.А. Орехов, О.П. Пчеляков, В.В. Ульянов. ФТП, 37, 1220 (2003)
- В.А. Сачков, В.В. Болотов, В.А. Володин, М.Д. Ефремов. Препринт ИМСЭ СО РАН 2000-01
- J. Groenen, R. Carles, S. Christiansen, M. Albrecht, W. Dorsch, H.P. Strunk, H. Wawra, G. Wagner. Appl. Phys. Lett., 71, 3856 (1997)
- Z. Sui, H.H. Burke, I.P. Herman. Phys. Rev. B, 48, 2162 (1993)
- Д.А. Орехов, В.А. Володин, М.Д. Ефремов, А.И. Никифоров, В.В. Ульянов, О.П. Пчеляков. Письма ЖЭТФ, 81, 415 (2005)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
