"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Приготовление пленок ZnO : N методом радикало-лучевой геттерирующей эпитаксии
Рогозин И.В.1
1Бердянский государственный педагогический университет, Бердянск, Украина
Поступила в редакцию: 11 сентября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

Эпитаксиальные пленки ZnO : N получены методом радикально-лучевой геттерирующей эпитаксии. Свойства пленок исследованы с помощью рентгеновской дифракции, атомной силовой микроскопии, вторично ионной масс-спектроскопии и фотолюминесценции. В рентгеновских дифракционных спектрах образцов наблюдается узкий пик (002), что указывает на ориентацию пленок ZnO : N вдоль c-оси. Вторично ионная масс-спектроскопия показывает наличие азота в пленках ZnO. В спектре низкотемпературной фотолюминесценции ZnO : N наблюдается пик 3.31 эВ, предположительно экситона, связанного на нейтральном акцепторе --- NO. Посттермический отжиг пленок ZnO : N осуществлялся в атомарном кислороде. Обсуждается природа донорно-акцепторной 3.23 эВ и зеленой 2.56 эВ полосы фотолюминесценции. PACS: 61.10.Nz, 61.72.Ji, 68.37.Ps, 78.30.Fs, 78.55Et
  • D.C. Look, B. Claflin, Ya.I. Alivov, S.J. Park. Phys. Status Solidi A, 201, 2203 (2004)
  • U. Ozgur, Ya.I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. Reshchikov, S. Dogan, V. Avrutin, S.-J. Cho, H. Marko c. J. Appl. Phys. 98, 041 301 (2005)
  • V.A. Kaprpina, V.I. Lazorenko, C.V. Lashkarev, V.D. Dobrowolski, L.I. Kopylova, V.A. Baturin, S.A. Pustovoytov, A.Ju. Karpenko, S.A. Eremin, P.M. Lytvyn, V.P. Ovsyannikov, E.A. Mazurenko. Cryst. Res. Technol., 39, 980 (2004)
  • S.Y. Myong, S.J. Baik, Ch.H. Lee, W.Y. Cho, K.S. Lim. Jpn. J. Appl. Phys., 36, L1078 (1997)
  • M. Hiramatsu, K. Imaeda, N. Horio, M. Nawata. J. Vac. Sci. Technol. A, 16, 669 (1998)
  • K. Minegishi, Y. Koiwai, K. Kikuchi, K. Yano, M. Kasuga, A. Shimizu. Jpn. J. Appl. Phys., 36, L1453 (1997)
  • H.W. Liang, Y.M. Lu, D.Z. Shen, Y.C. Liu, J.F. Yan, C.X. Shan, B.H. Li, Z.Z. Zhang, J.Y. Zhang, X.W. Fan. Phys. Status Solidi A, 202, 1060 (2005)
  • Y.R. Ryu, S. Zhu, D.C. Look, J.M. Wrobel, H.M. Jeong, H.W. White. J. Cryst. Growth, 216, 330 (2000)
  • V. Vaithianathan, Y.H. Lee, B.-T. Lee, S. Hishita, S.S. Kim. J. Cryst. Growth, 287, 85 (2006)
  • M. Joseph, H. Tabata, T. Kawai. Jpn. J. Appl. Phys., 38, L1205 (1999)
  • K. Nakahara, H. Takasu, P. Fons, A. Yamada, K. Iwata, K. Matsubara, R. Hunger, S. Niki. J. Cryst. Growth, 237--239, 503 (2002)
  • J.G. Lu, L.P. Zhu, Z.Z. Ye, F. Zhuge, B.H. Zhao, D.W. Ma, L. Wang, J.Y. Huang. J. Mater. Sci., 41, 467 (2006)
  • D.C. Look, R.L. Jones, J.R. Sizelove, N.Y. Garces, N.C. Giles, L.E. Halliburton. Phys. Status Solidi A, 195, 171 (2003)
  • S.B. Zang, S.-H. Wei, A. Zunger. Phys. Rev. B, 63, 075 205 (2001)
  • A.N. Georgobiani, M.B. Kotlyarevsky, I.V. Rogozin. Inorg. Mater., 41, Suppl. 1, S1 (2004)
  • A.F. Kohan, G. Ceder, D. Morgan, C.G. Van de Walle. Phys. Rev. B, 61, 15 019 (2000)
  • X. Yang, G. Du, X. Wang, J. Wang, B. Liu, Y. Zhang, D. Liu, H.C. Ong, S. Yang. J. Cryst. Growth, 252, 275 (2003)
  • А.Н. Георгобиани. М.Б. Котляревский, В.В. Кидалов, Л.С. Лепнев, И.В. Рогозин. Неорг. матер., 37 (11), 1287 (2001)
  • D.C. Look, D.C. Reynolds, C.W. Litton, R.L. Jones, D.B. Eason, G. Cantwell. Appl. Phys. Lett., 81, 1830 (2002)
  • D. Wang, Y.C. Liu, R. Mu, J.Y. Zhang, Y.M. Lu, D.Z. Shen, X.W. Fan. J. Phys.: Condens. Matter., 16, 4635 (2004)
  • K. Tonke, Th. Gruber, N. Teofilov, R. Schonfelder, A. Waag, R. Sauer. Physica B, 308--310, 945 (2001)
  • S. Yamauchi, Y. Goto, T. Hariu. J. Cryst. Growth, 260, 1 (2004)
  • C.H. Park, S.B. Zang, S.-H. Wei. Phys. Rev. B, 66, 073 202 (2002)
  • K. Iwata, P. Fons, A. Yamada, K. Matsubara, S. Niki. J. Cryst. Growth, 209, 526 (2000)
  • P.S. Xu, Y.M. Sun, C.S. Shi, F.Q. Xu, H.B. Pan. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 199, 286 (2003)
  • C. Simpson, J.F. Cordaro. J. Appl. Phys., 63, 1781 (1988)
  • M.B. Kotlyarevsky, I.V. Rogozin, A.V. Marakhovsky. NATO Sci. Ser. II: Math., Phys. Chem., 194, 25 (2005).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.