"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Использование процессов горения и взрыва наноструктурированного пористого кремния в микросистемных устройствах
Лазарук С.К.1, Долбик А.В.1, Лабунов В.А.1, Борисенко В.Е.1
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 28 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2007 г.

Проведено исследование процессов горения и взрыва в слоях наноструктурированного пористого кремния в зависимости от толщины слоев и времени хранения образцов после операции электрохимического анодирования. Проведена оценка количества водорода, адсорбированного на поверхности пористого кремния после анодной обработки. Количество водорода, аккумулированного в пористом кремнии, составило 4% по массе. Разработаны и изготовлены прототипные микросистемные устройства, использующие энергию исследуемых процессов. Процесс горения пористого кремния может быть использован в качестве источника энергии для кремниевых микроактюаторов, а микровзрыв может быть применен как в самоуничтожающихся кремниевых чипах, так и в технологии изготовления кремниевых интегральных микросхем для разделения кремниевых пластин на отдельные кристаллы. PACS: 61.43.Gt, 82.40.-q, 85.90.+h
  • D. Kovalev, V.Y. Timoshenko, N. Kunzner, E. Gross, F. Koch. Phys. Rev. Lett., 87, 68 301 (2001)
  • С.К. Лазарук, А.В. Долбик, П.В. Жагиро, В.А. Лабунов, В.Е. Борисенко. ФТП, 39, 917 (2005)
  • D. Clement, J. Diener, E. Gross, N. Kunzner, V.Yu. Timoshenko, D. Kovalev. Phys. Status Solidi A, 202, 1357 (2005)
  • Ю. Варнатц, У. Маас, Р. Диббл. Горение. Физические и химические аспекты, моделирование, эксперименты, образование загрязняющих веществ (М., Физматлит, 2003)
  • L.T. Canham. Properties of Porous Silicon (London, INSPEC, 1997)
  • А.А. Ковалевский, А.В. Долбик, С.К. Лазарук, В.А. Лабунов. Докл. НАН РБ, 49, 108 (2005)
  • J. Abrahamson, J. Dinnis. Nature, 403, 519 (2000)
  • С.К. Лазарук, А.В. Долбик, В.А. Лабунов, В.Е. Борисенко. Письма ЖЭТФ, 84 (11), 695 (2006)
  • А.И. Егоров, С.И. Степанов, Г.Д. Шабанов. Успехи физ. наук, 174, 107 (2004)
  • А.И. Егоров, С.И. Степанов. ЖТФ, 72, 102 (2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.