Исследование начальных стадий роста Mg на Si(111) при комнатной температуре методами оптической и электронной спектроскопии
Галкин К.Н.1, Доценко С.А.1, Галкин Н.Г.1, Kumar M.2, Govind 2, Shivaprasad S.M.2
1Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук, Владивосток, Россия
2Surface Physics and Nanostructures Group, National Physical Laboratory, Dr. K.S. Krishnan Road, New Delhi, India
Поступила в редакцию: 16 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2008 г.
С использованием методов дифракции медленных электронов, спектроскопии характеристических потерь энергии электронами и дифференциальной отражательной спектроскопии исследованы начальные стадии роста пленки Mg на Si(111) при комнатной температуре. В исследованном диапазоне значений толщины пленки магния (h=0-0.2 нм) обнаружено формирование полупроводникового силицида магния (Mg2Si), являющегося перспективным материалом для создания кремний-силицидных термоэлементов. При малой толщине осажденной пленки формируются идентичные кластеры Mg2Si. Увеличение количества атомов Mg приводит к формированию двумерных, а затем и трехмерных островков Mg2Si. Для всех структур получены спектры функции изменения оптического отклика deltaLambda''theta, являющиеся характеристикой их оптических свойств. PACS: 78.20.Ci, 78.67.Bf, 78.67.Hc, 81.07.Bc, 81.15.Ef, 82.80.Pv
- N.G. Galkin, K.N. Galkin, S.V. Vavanova. e-J. Surf. Sci. Nanotechnol., 3, 12 (2005)
- W.J. Scouler. Phys. Rev., 178, 1353 (1969)
- P.M. Lee. Phys. Rev., 135, A1110 (1964)
- Y. Au-Yang, M.L. Cohen. Phys. Rev., 178, 1358 (1969)
- F. Aymerich, G. Mula. Phys. Status Solidi, 42, 697 (1970)
- D.M. Wood, A. Zunger. Phys. Rev. B, 34, 4105 (1986)
- А.В. Кривошеева, А.Н. Холод, В.Л. Шапошников, А.Е. Кривошеев, В.Е. Борисенко. ФТП, 36, 528 (2002)
- C. Wigren, J.N. Andersen, K. Nynolm, U.O. Karlsson. Surf. Sci., 289, 290 (1993)
- J. Quinn, F. Jona. Surf. Sci., 249, L307 (1991)
- K.S. An, R.J. Park, J.S. Kim, C.Y. Park, S.B. Lee, T. Abukawa, S. Kono, T. Konoshita, A. Kakizaki, T. Ishii. J. Appl. Phys., 78, 1151 (1995)
- K.S. An, R.J. Park, J.S. Kim, C.Y. Park, C.Y. Kim, J.W. Chung, T. Kinoshita, A. Kakizaki. J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom., 80, 165 (1996)
- M.A.K. Zilani, Y.Y. Sun, H. Xu, Lei Liu, Y.P. Feng, X.-S. Wang, A.T.S. Wee. Phys. Rev. B, 72, 193 402 (2005)
- O.A. Utas, T.V. Utas, V.G. Kotlyar, A.V. Zotov, A.A. Saranin, V.G. Lifshits. Surf. Sci., 596, 53 (2005)
- Н.Г. Галкин, С.А. Доценко, Л.В. Коваль. Письма ЖТФ, 33, 44 (2007)
- С.А. Доценко. Автореф. канд. дис. (Владивосток, Дальневост. гос. ун-т, 2006)
- M. Kumar, V.K. Paliwal, A.G. Joshi, Govind, S.M. Shivaprasad. Surf. Sci., 596, 206 (2005)
- S.A. Dotsenko, N.G. Galkin, A.S. Gouralnik, L.V. Koval. e-J. Surf. Sci. Nanotechnol., 3, 113 (2005)
- S. Hasegawa, X. Tong, S. Takeda, N. Sato, T. Nagao. Progr. Surf. Sci., 60, 89 (1999)
- J.L. Li, J.F. Jia, X.J. Liang, X. Liu, J.Z. Wang, Q.K. Xue, Z.Q. Li, J.S. Tse, Z. Zhang, S.B. Zhang. Phys. Rev. Lett., 88, 066 101 (2002)
- Z.X. Xie, K. Iwase, T. Egawa, K. Tanaka. Phys. Rev. B, 66, 121 304 (2002)
- V.G. Kotlyar, A.V. Zotov, A.A. Saranin, T.V. Kasyanova, M.A. Cherevik, I.V. Pisarenko, V.G. Lifshits. Phys. Rev. B, 66, 165 401 (2002)
- K. Takayanagi, Y. Tanishiro, S. Takahashi, M. Takahashi. Surf. Sci., 164, 367 (1985)
- В.Г. Лифшиц, Ю.В. Луняков. Спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии (Владивосток, Дальнаука, 2004)
- A. Bagchi, R. G. Barrera, A.K. Rajagopal. Phys. Rev. B, 20, 48 24 (1979).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук