"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние галогенов на образование и свойства слоев пористого кремния
Болотов В.В.1, Стенькин Ю.А.1, Давлеткильдеев Н.А.1, Кривозубов О.В.1, Пономарева И.В.1
1Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.

Методом атомно-силовой микроскопии исследована морфология поверхности слоев пористого кремния на подложке p-Si, полученных анодным травлением в электролите с добавлением свободных галогенов (бром, йод) и галогенидов калия (KCl, KI). Установлено, что присутствие галогенов в электролите способствует формированию крупных пор диаметром до 150 нм. Механизм увеличения размеров пор при участии галогенов связывается с ростом концентрации свободных дырок за счет образования донорно-акцепторных пар при адсорбции галогенов на поверхности кремния. PACS: 61.43.Gt, 68.55.Jk, 68.37.Ps
  • Д.Н. Горячев, Л.В. Беляков, О.М. Сресели. ФТП, 34, 1130 (2000)
  • Г.К. Мороз, А.В. Жерздев. ФТП, 28, 949 (1994)
  • Ф.Ф. Волькенштейн. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции (М., Наука, 1987)
  • L. Boarino, C. Baratto, F. Geobaldo, G. Amato, E. Comini, A.M. Rossi, G. Faglia, G. Le'rondel, G. Sberveglieri. Mater. Sci. Eng. B., 69-70, 210 (2000)
  • Е.А. Константинова, Л.А. Осминкина, К.С. Шаров, Е.В. Курепина, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ЖЭТФ, 126, 857 (2004)
  • В.В. Болотов, И.В. Пономарева, Ю.А. Стенькин, В.Е. Кан. ФТП, 41, 981 (2007)
  • Л.А. Осминкина, Е.А. Константинова, К.С. Шаров, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 39, 365 (2005)
  • А.С. Воронцов, Л.А. Осминкина, А.Е. Ткаченко, Е.А. Константинова, В.Г. Еленский, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. ФТП, 41, 972 (2007)
  • V. Barone, F. Lelj, N. Russo, M. Toscano. Sol. St. Commun., 59, 433 (1986)
  • A. Motohashi, M. Ruike, M. Kawakami, H. Aoyagi, A. Kinoshita, A. Satou. Jpn. J. Appl. Phys., 35, 4253 (1996)
  • С.П. Зимин. ФТП, 34, 359 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.