"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Переход металл-изолятор в эпитаксиальных пленках n-3C-SiC
Лебедев А.А.1, Абрамов П.Л.1, Агринская Н.В.1, Козуб В.И.1, Кузнецов А.Н.1, Лебедев С.П.1, Оганесян Г.А.1, Трегубова А.С.1, Черняев А.В.1, Шамшур Д.В.1, Скворцова М.О.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 10 апреля 2008 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2009 г.

На подложках гексагонального карбида кремния методом сублимационной эпитаксии выращены пленки n-3C-SiC. Проведено исследование низкотемпературной проводимости и магнетосопротивления полученных пленок в зависимости от уровня легирования и структурного качества. Обнаружено, что при концентрациях нескомпенсированных доноров Nd-Na=<q3·1017 см-3 в слое n-3C-SiC происходит переход металл-диэлектрик. PACS: 71.30.+h, 72.15.Gd, 72.20.Fr
  • А.А. Лебедев, Н.В. Агринская, П.Л. Абрамов, В.И. Козуб, Г.А. Оганесян, Л.М. Сорокин, А.В. Черняев, Д.В. Шамшур. Письма ЖТФ, 33, 24 (2007)
  • A.A. Lebedev, P.L. Abramov, N.V. Agrinskaya, V.I. Kozub, A.N. Kuznetsov, S.P. Lebedev, G.A. Oganesyan, L.M. Sorokin, A.V. Chernyaev, D.V. Shamshur. J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 19 (2008)
  • А.А. Лебедев, В.В. Зеленин, П.Л. Абрамов, Е.В. Богданова, С.П. Лебедев, Д.К. Нельсон, Б.С. Разбирин, М.П. Щеглов, А.С. Трегубова, M. Suvajarvi, R. Yakimova. ФТП, 41, 273 (2007)
  • А.А. Лебедев, В.В. Зеленин, П.Л. Абрамов, С.П. Лебедев, А.Н. Смирнов, Л.М. Сорокин, М.П. Щеглов, R. Yakimova. Письма ЖТФ. 33 (12), 61 (2007)
  • A.A. Lebedev. Semicond. Sci. Technol., 21, R17 (2006)
  • А. Розенгрин. В кн.: Карбид кремния, под ред. Г. Хэниша, Р. Роя (М., Мир, 1972) с. 193
  • B.I. Shklovskii, B.Z. Spivak. In: Hopping Transport in Solids, ed. by M. Pollak, B. Shklovskii (Elsevier, 1991) p. 271
  • В.Ф. Гантмахер. Электроны в неупорядоченных средах (М., Физматлит, 2003)
  • N.M. Shmidt. In: Semiconductor Technology (Processing and Novel Fabrication Techiques), ed. by M.E. Levinshtein, M.S. Shur (John Wiley, N.Y., 1997) p. 1
  • L. Latu-Romain, D. Chaussende, C. Balloud, S. Juillaquet, L. Rapenne, E. Pernot, J. Camassel, M. Pons, R. Madar. Mater. Sci. Forum, 527-529, 99 (2006)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.