"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование оптических свойств аморфного углерода, модифицированного платиной
Ременюк А.Д.1, Звонарева Т.К.1, Захарова И.Б.1, Толмачев В.А.1, Беляков Л.В.1, Перова Т.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 23 октября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Исследованы пленки аморфного углерода alpha-C и пленки модифицированного платиной композита на его основе alpha-C-Pt, полученные методом магнетронного распыления в широком диапазоне толщин и концентраций модифицирующей платины, изготовленные при сохранении оптимального для каталитической активности alpha-C-Pt режима. Для исследования использованы методы эллипсометрии, инфракрасной и рамановской спектроскопии. На основании анализа спектров показано, что кластеры платины встраиваются в систему графеновых плоскостей аморфного углерода без существенной перестройки самой углеродной структуры, а увеличение количества модифицирующей платины в составе пленки alpha-C-Pt приводит к уменьшению размеров графеновых кластеров. PACS: 81.15.Cd, 78.20. Ci, 78.30.-j
  • E. Thune, E. Carpene, K. Sauthoff, M. Seibt, P. Reinke. J. Appl. Phys., 98, 034 304 (2005)
  • B. Shi, W.J. Meng, T.L. Daulton. Appl. Phys. Lett., 85, 4352 (2004)
  • X. Fan, E.C. Dickey, S.J. Pennicook, M.K. Sunkara. Appl. Phys. Lett., 75, 2740 (1999)
  • В.И. Иванов-Омский, Т.К. Звонарева, Г.С. Фролова. ФТП, 34, 1450 (2000)
  • С.Г. Ястребов, В.И. Иванов-Омский, В.А. Кособукин, Ф. Думитраче, К. Морошану. Письма ЖТФ, 30 (23), 47 (2004)
  • Э.А. Сморгонская, Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, И.И. Новак, В.И. Иванов-Омский. ФТТ, 45, 1579 (2003)
  • В.И. Иванов-Омский, А.В. Колобов, А.В. Лодыгин, С.Г. Ястребов. ФТП, 38, 1463 (2004).
  • Ю.В. Плесков, Ю.Е. Евстигнеева, А.М. Баранов. Электрохимия, 37 (6), 755 (2001)
  • В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 32, 931 (1998)
  • В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 39, 970 (2005)
  • Т.К. Звонарева, В.И. Иванов-Омский, А.В. Нащекин, Л.В. Шаронова. ФТП, 34, 96 (2000)
  • А.А. Нечитайлов, Т.К. Звонарева, А.Д. Ременюк, В.А. Толмачев, Д.Н. Горячев, О.С. Ельцина, Л.В. Беляков, О.М. Сресели. ФТП, 42, 1273 (2008)
  • Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981)
  • В.А. Толмачев. Оптич. журн., 66, 20 (1999)
  • Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, Г.С. Фролова, В.М. Лебедев, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 36 (6), 734 (2002)
  • B. Bousher-Fabre, C. Godet, M. Lacerda, S. Charvet, K. Zellama, D. Ballutaud. J. Appl. Phys., 95(7), 3427 (2004)
  • S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Sitnikova. J. Non-Cryst. Sol., 227-- 230, 622 (1998)
  • V.I. Ivanov-Omskii, S.G. Yastrebov. Diamond Relat. Mater., 8, 554 (1999)
  • R. Bouzerar, M. Benlahsen, B. Racinn, J.C. Picot. J. Appl. Phys., 93(12), 9953 (2003)
  • C.N.R. Rao. Chemical Applications of Infrared Spectroscopy (Academic Press, N.Y.--London, 1963)
  • A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 61, 14 095 (2000)
  • A.C. Ferrari, S.E. Rodil, J. Robertson. Phys. Rev. B, 67, 155 306 (2003)
  • R.McCann, S.S. Roy, P. Papakonstantinou, J.A. McLaughlin, S.C. Ray. J. Appl. Phys., 97, 073 522 (2005)
  • H.X. Han, B.J. Feldman. Sol. St. Commun., 65 (9), 921 (1988)
  • Т.К. Звонарева, В.М. Лебедев, Т.А. Полянская, Л.В. Шаронова, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34, 1135 (2000)
  • J. Ristein, R.T. Stief. K. Ley. J. Appl. Phys., 84 (7), 3836 (1998)
  • J.N. Kayfman, S. Metin, D.D. Saperstein. Phys. Rev. B, 39, 13 053 (1989)
  • S. Bhattacharyya, C. Cardinaud, G. Turban. J. Appl. Phys., 83 (8), 4491 (1998)
  • Y. Hayashi, G. Yu, M.M. Rahman, K.M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno. J. Appl. Phys., 89, 7924 (2001)
  • S. Graig, G.I. Harding. Thin Sol. Films, 97, 345 (1982)
  • L.J. Bellamy. The Infrared Spectra of Complex Molecules (London.--N.Y., John Wiley, 1954)
  • C. Wang, S. Yang, H. Li, J. Zhang. J.. Appl. Phys., 101, 013 501 (2007).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.