"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электронный парамагнитный резонанс и фотолюминесценция в пиролитических пленках нитрида кремния при ионном облучении аргоном и молекулярным азотом
Демидов Е.С.1, Добычин Н.А.1, Карзанов В.В.1, Марычев М.О.1, Сдобняков В.В.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 27 ноября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

При 293 K исследовались фотолюминесценция и электронный парамагнитный резонанс пиролитических пленок нитрида кремния, облученных ионами аргона или молекулярными ионами азота и отожженных при температурах 500-1100oC. Спектр поглощения свидетельствует о том, что широкая полоса фотолюминесценции в области 400-600 нм связана с электронными переходами между хвостами зон. Облучение ионами аргона с малыми дозами незначительно понижает интенсивность фотолюминесценции, а с большими дозами может после отжигов при 800-900oC усиливать ее более чем в 2 раза. Вместе с тем облучение ионами азота приводит к значительному, более чем на порядок, уменьшению интегральной интенсивности фотолюминесценции. Наблюдалась корреляция изменения интенсивности фотолюминесценции и амплитуды спектров электронного парамагнитного резонанса при отжигах пленок нитрида кремния. PACS: 61.72.Ww, 61.80.Jh, 78.55.Hx
  • D.T. Krick, P.M. Lenahan, J. Kanicki. Phys. Rev. B, 38 (12), 2826 (1988)
  • W.L. Warren, P.M. Lenahan, S.E. Curry. Phys. Rev. Lett., 65 (2), 207 (1990)
  • W.L. Warren, P.M. Lenahan. Phys. Rev. B, 42 (3), 1773 (1990)
  • W.L. Warren, J. Kanicki, J. Robertson, E.N. Poindexter, P.J. McWhorter. J. Appl. Phys., 74 (6), 4034 (1993)
  • S.V. Deshpande, E. Gulari. S.W. Brown, S.C. Rand. J. Appl. Phys., 77, 15 (1995)
  • И.Е. Тысченко, В.А. Володин, Л. Реболе, М. Фельсков, В. Скорупа. ФТП, 33, 559 (1999)
  • Kwang Soo Seol, Tsuyoshi Futami, Takashi Watanabe, Yoshimichi Ohki, Makoto Takiyama. J. Appl. Phys., 85, 9 (1999)
  • G. Pacchioni, D. Erbetta. Phys. Rev. B, 60 (18), 12 617 (1999)
  • Zhizhong Yuan, Dongsheng Li, Minghua Wang, Peiliang Chen, Daoren Gong, Lei Wang, Deren Yang. J. Appl. Phys., 100, 083 106 (2006)
  • Rui Huang, Kunji Chen, Peigao Han, Hengping Dong, Xiang Wang, Deyuan Chen, Wei Li, Jun Xu, Zhongyuan Ma, Xinfan Huang. Appl. Phys. Lett., 90, 093 515 (2007)
  • M. Molinari, H. Rinnert, M. Vergnat. J. Appl. Phys., 101, 123 532 (2007)
  • Таблицы физических величин. Справочник, под ред. И.К. Кикоина (М., Мир, 1976) с. 635
  • В.И. Белый, Л.Л. Васильева, В.А. Гриценко и др. Нитрид кремния в электронике, под ред. А.В. Ржанова (Новосибирск, Наука, 1982)
  • D. Jousse, J. Kanicki, J.H. Stathis. Appl. Phys. Lett., 54, 1043 (1989)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.