"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Эффект ориентации поверхности кремния в модели объемного термического окисления
Александров О.В.1, Дусь А.И.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 января 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2009 г.

На основе объемной модели термического окисления кремния [О.В. Александров, А.И. Дусь. ФТП, 41 (11), 1400 (2008)] проведен анализ ориентационной зависимости скорости окисления кремния в сухом кислороде. Определены ориентационные и температурные зависимости коэффициента диффузии в напряженном диоксиде кремния и характеристического времени его релаксации. Орентационная зависимость коэффициента диффузии окислителя в диоксиде кремния на границе реакционной зоны, D1(110)>D1(111)>D1(100), связывается с ориентирующим влиянием монокристаллической подложки кремния на структуру и плотность прилегающего к нему диоксида кремния. Ориентационная зависимость характеристического времени релаксации, tau(100)>tau(110)>tau(111), обратно коррелирует с ориентационной зависимостью D1 для ориентаций (100) и (111) и прямо --- с внутренними механическими напряжениями для ориентаций (110) и (111). PACS: 81.65.Ps, 81.05.Cy, 68.35.Md
  • Г.Я. Красников, Н.А. Зайцев. Система кремний--диоксид кремния субмикронных СБИС (М., Техносфера, 2003)
  • J.R. Ligenza. J. Phys. Chem., 65, 2011 (1961)
  • B.E. Deal. J. Electrochem. Soc., 110, 527 (1963)
  • W.A. Pliskin. IBM J. Res. Dev., 10, 198 (1966)
  • B.E. Deal, A.S. Grove. J. Appl. Phys., 36, 3770 (1965)
  • S.I. Raider, L.E. Forget. J. Electrochem. Soc., 127, 1783 (1980)
  • D.W. Hess, B.E. Deal. J. Electrochem. Soc., 124, 735 (1977)
  • B.E. Deal, D.W. Hess, J.D. Plummer, C.P. Ho. J. Electrochem. Soc., 125, 339 (1978)
  • E.A. Irene. J. Electrochem. Soc., 121, 1613 (1974)
  • H.Z. Massoud, J.D. Plummer, E.A. Irene. J. Electrochem. Soc., 132, 1745 (1985)
  • E.A. Taft. J. Electrochem. Soc., 132, 2487 (1985)
  • J. van der Meulen. J. Electrochem. Soc., 119, 530 (1972)
  • E.A. Irene, H.Z. Massoud, E. Trierney. H.Z.J. Electrochem. Soc., 133, 1253 (1986)
  • E.A. Lewis, E.A. Irene. J. Electrochem. Soc., 134, 2332 (1987)
  • J.L. Ngau, P.B. Griffin, J.D. Plummer. J. Electrochem. Soc., 149, F98 (2002)
  • E. Kobeda, E.A. Irene. J. Vac. Sci. Technol. B, 5, 15 (1987)
  • О.В. Александров, Д.И. Дусь. ФТП, 42, 1400 (2008)
  • M. Stavola, J.R. Patel, L.C. Kimerling, P.E. Freeland. Appl. Phys. Lett., 42, 73 (1983)
  • K. Kajihara, M. Hirano, M. Uramoto, Y. Morimoto, L. Skuja, H. Hosono. J. Appl. Phys., 98, 013 527 (2005)
  • G. Holinger, F.J. Himpselk. Appl. Phys. Lett., 44, 93 (1984)
  • В.В. Монахов, О.В. Романов, С.Н. Кириллов, В.Я. Урицкий, В.А. Смирнов. ФТП, 20, 477 (1986)
  • A.R. Chowdhuri, D.-U. Jin, C.G. Takoudis. Thin Sol. Films, 457, 402 (2004)
  • E.A. Taft. J. Electrochem. Soc., 127, 993 (1980)
  • K. Nakamura, K. Ohmi, K. Yamamoto, K. Makihara, T. Ohmi. Jpn. J. Appl. Phys., 33, 500 (1994)
  • A. Fargeix, G. Ghibaudo. J. Appl. Phys., 56, 589 (1984)
  • B.J. Mrstik, G. Revesz, M. Ancona, H.L. Hughes. J. Electrochem. Soc., 134, 2020 (1987)
  • A.G. Revesz, H.L. Hughes. J. Non-Cryst. Sol., 254, 47 (1999)
  • A.G. Revesz, H.L. Hughes. J. Non-Cryst. Sol., 328, 48 (2003)
  • Г.Я. Красников, Н.А. Зайцев, И.В. Матюшкин. ФТП, 37, 44 (2003)
  • B.J. Mrstik, P.J. McMarr. Phys. Rev. B, 48, 17 972 (1993)
  • Y. Sugita, S. Wananabe, N. Awaji, S. Komiya. Appl. Surf. Sci., 100/101, 268 (1996)
  • A.G. Revesz, W. Anwand, G. Brauer, H.L. Hughes, W. Scorupa. Appl. Surf. Sci., 194, 101 (2002)
  • Б.М. Аюпов, С.Ф. Девятова, В.Г. Ерков, Л.А. Семенова. Микроэлектроника, 37, 163 (2008)
  • A. Ourmazd, D.W. Taylor, J.A. Rentschler. Phys. Rev. Lett., 59, 213 (1987)
  • P.H. Fuoss, L.J. Norton, S. Brennan, A. Fischer-Colbrie. Phys. Rev. Lett., 60, 600 (1988)
  • А.В. Емельянов, В.В. Егоркин. Поверхность, N 11, 44 (1987)
  • K. Tatsumura, T. Watanabe, D. Yamasaki, T. Shimura, M. Umeno, I.A. Ohdomary. Jpn. J. Appl. Phys., 43, 492 (2004)
  • K. Imai, K. Yamabe. J. Appl. Phys., 83, 3849 (1998)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.