"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Уменьшение поглощения в структурах кварц/Si, кварц/Si/SiO2 и SiC/Si/SiO2 под влиянием лазерной обработки
Лисоченко В.Н.1, Конакова Р.В.1, Коноплев Б.Г.2, Кушнир В.В.2, Охрименко О.Б.3, Светличный А.М.2
1LIMO --- Lissotchenko--Mikrooptik GmbH, Dortmund, Germany
2Таганрогский технологический институт Южного федерального университета, Таганрог, Россия
3Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 10 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Исследовано влияние лазерного излучения на спектры оптического поглощения систем кварц/Si, кварц/Si/SiO2 и SiC/Si/SiO2. Выявлены эффекты управления прозрачностью данной структуры.
  • В.А. Карачинов. ФТП, 31, 53 (1997)
  • Г.К. Сафаралиев, Ю.Н. Эмиров, М.К. Курбатов, Б.А. Биланов. ФТП, 34, 929 (2000)
  • C. Boutopoulos, P. Terzis, I. Zergioti, A.G. Kontos, K. Zekentes, K. Giannakopoulos, Y.S. Raptis. Appl. Surf. Sci., 253, 7912 (2007)
  • N.I. Cho, Y.M. Kim, J.S. Lim, C. Hong, Y. Sul, C.K. Lim. Thin Sol. Films, 409, 1 (2002)
  • L.A. Marques, L. Pelaz, M. Aboy, J. Barbolla. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 216, 57 (2004)
  • О.М. Жигалина, Д.Н. Хмеленин, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, И.Г. Лебо. ФТТ, 51, 1398 (2009)
  • T. Arguirov, T. Mchedlidze, V.D. Akhmetov, S. Kouteva-Arguirova, M. Kitter, R. Rolver, B. Berghoff, M. Forst, D.L. Batzner, B. Spangenberg. Appl. Surf. Sci., 254, 1083 (2007)
  • Zhijun Yuan, Qihong Lou, Jun Zhou, Jingxing Dong, Yunrong Wei, Zhijiang Wang, Hongming Zhao, Guohua Wu. Opt. Laser Technol., 41, 380 (2009)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.