Приведены экспериментальные данные по ионному синтезу нанокомпозитных слоев с углеродсодержащими кластерами и нанокристаллами Si при облучении пленок нестехиометрического оксида кремния SiOx ионами углерода с последующим высокотемпературным отжигом. Показано, что при достаточно больших дозах C+ пленки обладают фотолюминесценцией в области спектра, охватывающей весь видимый диапазон и ближнюю инфракрасную область. Формирование указанных кластеров и нанокристаллов подтверждается методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, причем распределение углерода практически воспроизводит расчетный профиль пробегов ионов, т. е. отсутствует заметное диффузионное перераспределение этого элемента. Предложена качественная модель слоистого строения ионно-синтезированных структур.
B. Garrido, M. Lopez, A. Perez-Rodriguez, C. Garcia, P. Pellegrino, R. Ferre, J.A. Moreno, J.R. Morante, C. Bonafos, M. Carrada, A. Claverie, J. de la Torre, A. Souifi. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 216, 213 (2004)
В.А. Бурдов. ФТП, 36, 1233 (2002)
M.V. Wolkin, J. Jorne, P.M. Fauchet, G. Allan, C. Delerue. Phys. Rev. Lett., 82, 197 (1999)
J. Zhao, D.S. Mao, Z.X. Lin, B.Y. Jiang, Y.H. Yu, X.H. Liu, H.Z. Wang, G.Q. Yang. Appl. Phys. Lett., 73, 1838 (1998)
O. Gonzalez-Varona, A. Perez-Rodriguez, B. Garrido, C. Bonafos, M. Lopez, J.R. Morante, J. Montserrat, R. Rodriguez. Nucl. Instr. Meth. Res. B, 161- 163, 904 (2000)
A. Perez-Rodriguez, O. Gonzalez-Varona, B. Garrido, P. Pellegrino, J.R. Morante, C. Bonafos, M. Carrada, A. Claverie. J. Appl. Phys., 94, 254 (2003)
D.I. Tetelbaum, A.N. Mikhaylov, V.K. Vasiliev, A.I. Belov, A.I. Kovalev, D.L. Wainstein, Yu.A. Mendeleva, T.G. Finstad, S. Foss, Y. Golan, A. Osherov. Surf. Coat. Tech., 203, 2658 (2009)
T. Inokuma, Y. Wakayama, T. Muramoto, R. Aoki, Y. Kurata, S. Hasegawa. J. Appl. Phys., 83, 2228 (1998)
L.X. Yi, J. Heitmann, R. Scholz, M. Zacharias. Appl. Phys. Lett., 81, 661 (2002)
K. Sato, T. Izumi, M. Iwase, Y. Show, H. Morisaki, T. Yaguchi, T. Kamino. Appl. Surf. Sci., 216, 376 (2003)
А.И. Белов, А.В. Ершов, Д.М. Гапонова, А.Н. Михайлов, А.А. Трухин, Д.А. Лаптев, Д.И. Тетельбаум. Вестн. ННГУ. Сер. ФТТ, 1, 33 (2007)
J.F. Ziegler. J. Appl. Phys., 85, 1249 (1999)
L. Skuja. J. Non-Cryst. Sol., 149, 77 (1992)
V.B. Sulimov, V.O. Sokolov. J. Non-Cryst. Sol., 191, 260 (1995)
T. Bakos, S.N. Rashkeev, S.T. Pantelides. Phys. Rev. B, 70, 075 203 (2004)
F. Meinardi, A. Paleari. Phys. Rev. B, 58, 3511 (1998)
A. Zatsepin, V.S. Kortov, H.-J. Fitting. J. Non-Cryst. Sol., 351, 869 (2005)
A.F. Zatsepin, V.S. Kortov, D.Yu. Biryukov. Phys. Status Solidi C, 4, 789 (2007)
Д.И. Тетельбаум, А.Н. Михайлов, О.Н. Горшков, А.П. Касаткин, В.А. Бурдов, А.В. Ершов, А.И. Белов, Д.А. Камбаров, В.К. Васильев, А.И. Ковалев, Д.Л. Вайнштейн, Д.М. Гапонова, R. Turan, S. Yerci, L. Pavesi, L. Ferraioli, T.G. Finstad, S. Foss. Нанотехника, 3, 36 (2006)
H. Rinnert, M. Vergnat, A. Burneau. J. Appl. Phys., 89, 237 (2001)
U. Serincan, M. Kulakci, R. Turan, S. Foss, T.G. Finstad. Nucl. Instr. Meth. B, 254, 87 (2007)
Г.А. Качурин, А.Ф. Лейер, К.С. Журавлев, И.Е. Тысченко, А.К. Гутаковский, В.А. Володин, В. Скорупа, Р.А. Янков. ФТП, 32, 1371 (1998)
L. Rebohle, T. Gebel, H. Frob, H. Reuther, W. Skorupa. Appl. Surf. Sci., 184, 156 (2001)
S.-Y. Seo, K.-S. Cho, J.H. Shin. Appl. Phys. Lett., 84, 717 (2004)
S.S. Lau. J. Vac. Sci. Technol., 15, 165 (1978)
L.J. Mitchell, F. Naab, O.W. Holland, J.L. Duggan, F.D. McDaniel. J. Non-Cryst. Sol., 352, 2562 (2006)
Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, В.А. Володин, В.Г. Кеслер, А.Ф. Лейер, M.-O. Ruault. ФТП, 36, 685 (2002)
X.L. Wu, Y. Gu, S.J. Xiong, J.M. Zhu, G.S. Huang, X.M. Bao, G.G. Siu. J. Appl. Phys., 94, 5247 (2003)
M. Wang, D. Yang, D. Li, Zh. Yuan, D. Que. J. Appl. Phys., 101, 103 504 (2007)
J.S. Shor, L. Bemis, A.D. Kuttz, I. Grimberg, B.Z. Weiss, M.F. MacMillian, W.J. Choyke. J. Appl. Phys., 76, 4045 (1994)
D.H. Feng, Z.Z. Xu, T.Q. Jia, X.X. Li, S.Q. Gong. Phys. Rev. B, 68, 035 334 (2003)