"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Свободные люминесцирующие слои пористого кремния
Горячев Д.Н.1, Беляков Л.В.1, Сресели О.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2010 г.

Изготовлены свободные слои пористого кремния толщиной 50-200 мкм с использованием электролита HF-уксусная кислота. Рассмотрены химические аспекты травления, связанные с выделением газов при травлении, способствующих отделению слоев от подложки. Слои обладают устойчивой фотолюминесценцией в видимой области спектра, наблюдаемой с обеих сторон.
  • J.H. Selj, A. Th gersen, S.E. Foss, E.S. Marstein. J. Appl. Phys., 107, 074 904 (2010)
  • E. Stein, J.F. Klemic, D.A. Routenberg, P.N. Wyrembak, D.B. Turner-Evans, A.D. Hamilton, D.A. LaVan, T.M. Fahmy, M.A. Rees. Nature, 445, 519 (2007)
  • D.R. Turner. J. Electrochem. Soc., 105 (7), 402 (1958)
  • G. Mauckner, W. Rebitzer, K. Thonke, R. Sauer. Sol. St. Commun., 91 (9), 717 (1994)
  • H. Tanino, A. Kuprin, H. Deai, N. Koshida. Phys. Rev. B, 53 (4), 1937 (1996)
  • A. Diligenti, A. Nannini, G. Pennelli, F. Pieri. Appl. Phys. Lett., 68 (5), 687 (1996)
  • M. Ghulinyan, C.J. Oton, G. Bonetti, Z. Gaburro, L. Pavesi. J. Appl. Phys., 93 (12), 9724 (2003)
  • C.S. Solanki, R. Bilyalov, H. Bender, J. Poortmans. Phys. Status Solidi A, 182, 97 (2000)
  • C.S. Solanki, R.R. Bilyalov, J. Poortmans, J.-P. Celis, J. Nijs. Phys. Status Solidi A, 197 (2), 507 (2003)
  • R.R. Bilyalov, C.S. Solanki, J. Poortmans, A. Ulyashin, R. Job, W. Fahrner. Phys. Status Solidi A, 197, 128 (2003)
  • C.S. Solanki, R.R. Bilyalov, J. Poortmans, J.-P. Celis, J. Nijs, R. Mertens. J. Electrochem. Soc., 151 (5), C307 (2004)
  • С.П. Зимин. ФТП, 34 (3), 359 (2000)
  • R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys., 71 (8), R1 (1992)
  • I. Coulthard, W.J. Antal, J.W. Freeland, T.K. Sham, S.J. Naftel, P. Zhang. Appl. Phys. Lett., 77 (4), 498 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.