"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование полосок двумерного фотонного кристалла путем одновременного фотоэлектрохимического травления щелей и макропор в кремнии
Астрова Е.В.1, Федулова Г.В.1, Гущина Е.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2010 г.

Исследован процесс совместного электрохимического травления глубоких макропор и щелей в n-Si ориентации (100). После удаления подложки области образца, ограниченные со всех сторон замкнутым контуром сквозных щелей, извлекали из образца, оставляя узкие полоски двумерного фотонного кристалла. На примере фотонного кристалла с квадратной решеткой макропор анализируется влияние расстояния между порами и щелью, режимов травления и последующего окисления на шероховатость боковых стенок таких структур, а также на изменение размера и формы пор вблизи щели. Найдены условия, обеспечивающие наименьшее искажение решетки фотонного кристалла и получение наиболее гладких боковых стенок структуры (среднеквадратичная высота неровности ~60 нм).
  • V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  • K. Busch, S. Lolkes, R.B. Wehrspohn, H. Foll. Photonic Crystals (Germany, Wiley VCH, 2004)
  • S. Ottow, V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 143, 385 (1996)
  • F. Muller, A. Birner, J. Schilling, A.-P. Li, K. Nielsch, U. Gosele, V. Lehmann. Microsystem Technol., 8, 7 (2002)
  • Е.В. Астрова, Т.Н. Боровинская, В.А. Толмачев, Т.С. Перова. ФТП, 38, 1125 (2004)
  • G. Barillaro, A. Nannini, F. Pieri. J. Electrochem. Soc., 149, C180 (2002)
  • G. Barillaro, A. Nannini, M. Piotto. Sensors Actuators A, 102, 195 (2002)
  • Е.В. Астрова, А.А. Нечитайлов. ФТП, 42, 747 (2008)
  • E.V. Astrova, A.A. Nechitailov, V.A. Tolmachev, V.A. Melnikov, T.S. Perova. Phys. Status Solidi A, 206, 1235 (2009)
  • E.V. Astrova, G.V. Fedulova. J. Micromech. Microeng., 19, 095 009 (2009)
  • E.V. Astrova, V.A. Tolmachev, G.V. Fedulova, V.A. Melnikov, A.V. Ankudinov, T.S. Perova. Appl. Phys. A, 98, 571 (2010)
  • Е.В. Астрова, В.А. Толмачев, Г.В. Федулова, V.A. Melnikov, T.S. Perova. Изв. РАН. Сер. физ., 74, 72 (2010)
  • Ю.А. Жарова, Г.В. Федулова, Е.В. Гущина, А.В. Анкудинов, Е.В. Астрова, В.А. Ермаков, Т.С. Перова. ФТП, 44, 986 (2010)
  • T. Geppert, S.L. Schweizer, U. Gosele, R.B. Wehrspohn. Appl. Phys. A, 84, 237 (2006)
  • R.B. Wehrspohn, S.L. Schweizer, V. Sandoghdar. Phys. Status Solidi A, 204, 3708 (2007)
  • T. Geppert. Ph. D. Dissertation (Max-Planck-Institute for Physics of Microstructures, Halle (Saale) and University of Paderborn, Germany, 2006) urn:nbn:de:gbv:3--000010074 [http://nbn--resolving.de/urn/resolver.pl?urn-nbn% 3Ade%3Agbv%3A3--000010074]
  • Е.В. Астрова, В.В. Ратников, А.Д. Ременюк, И.Л. Шульпина. ФТП, 36, 1111 (2002)
  • V. Lehmann. Electrochemistry of Silicon (Germany, Wiley VCH, 2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.