"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Структурирование субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в СВЧ плазме низкого давления на монокристаллическом кремнии
Шаныгин В.Я.1, Яфаров Р.К.1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук (Саратовский филиал), Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.

Изучены особенности поверхностного структурирования субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в высокоионизованной сверхвысокочастотной плазме низкого давления на пластины кремния с кристаллографическими ориентациями (111) и (100). Установлено, что размер, форма и поверхностная плотность наноструктурных углеродных образований определяются атомной микроструктурой свободной поверхности кремния заданных кристаллографических ориентаций и ее модификацией в зависимости от условий осаждения и отжига. Показана принципиальная возможность получения интегральных столбчатых наноструктур с поверхностной плотностью до (4-5)·109 см-2 и высотой свыше 400 нм в результате высокоанизотропного травления с использованием полученных углеродных островковых нанообразований в качестве масочного покрытия на монокристаллическом кремнии ориентации (100).
  • Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьёв, Ж.И. Алфёров, Д. Бимберг. ФТП, 32 (4), 385 (1998)
  • Р.К. Яфаров. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий (М., Физматлит, 2009)
  • В.М. Ивлев, Л.И. Трусов, В.А. Холмянский. Структурные превращения в тонких пленках (М., Металлургия, 1982)
  • К. Оура, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов, М. Катаяма. Введение в физику поверхности (М., Наука, 2006)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.