Получены тонкопленочные структуры на основе газочувствительного оксида вольфрама и каталитической платины, нанесенных при комнатной температуре на карбидокремниевую пластину с использованием импульсных методов лазерного и ионно-плазмeнного осаждения. Нагрев на воздухе до 600oC оксидных слоев вызывал формирование микро- и наноструктурированных кристаллических состояний, зависящих от условий осаждения. Структурные различия отражались на электрофизических параметрах и стабильности характеристик. Максимальная реакция на водород обнаружена в структуре, полученной осаждением низкоэнергетичного лазерно-инициированного потока атомов вольфрама в кислороде. Сдвиг вольт-амперных кривых по напряжению в смеси 2% H2 в воздухе при 350oC достигал 4.6 В при токе ~10 мкА. Метастабильность полученных структур обусловливала заметное уменьшение сдвига после длительных циклических испытаний. Наиболее стабильные величины сдвига составили ~2 В при положительном смещении на Pt-контакте и были обнаружены для оксидных пленок, полученных ионно-плазменным распылением.
О.В. Анисимов, В.И. Гаман, Н.К. Максимова, Ю.П. Найден, В.А. Новиков, Е.Ю. Севастьянов, Ф.В. Рудов, Е.В. Черников. ФТП, 44 (3), 383 (2010)
A. Trinchi, S. Kandasamy, W. Wlodarski. Sensors Actuators B, 133, 705 (2008)
S. Kandasamy, A. Trinchi, W. Wlodarski, E. Comini, G. Sberveglieri. Sensors Actuators B, 111-112, 111 (2005)
S. Nakagomi, K. Okuda, Y. Kokubun. Sensors Actuators B, 96, 364 (2003)
G. Soto, W. De La Cruz, J.A. Di az, R. Machorro, F.F. Castillon, M.H. Fari as. Appl. Surf. Sci., 218, 281 (2003)
S. Yamamoto, A. Inouye, M. Yoshikawa. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res., B, 266, 802 (2008)
M. Filipescu, S. Orlando, V. Russo, A. Lamperti, A. Purice, A. Moldovan, M. Dinescu. Appl. Surf. Sci., 253, 8258 (2007)
R.N. Ghosh, P. Tobias, B. Golden. Mater. Res. Soc. Symp., 742, K7.5.1 (2003)
В.Ю. Фоминский, Р.И. Романов, А.Г. Гнедовец, В.В. Зуев, М.В. Демин. ФТП, 44 (4), 556 (2010)
Н.Ф. Ковтонюк, Ю.А. Концевой. Измерения параметров полупроводниковых материалов (М., Металлургия, 1970)
Р.И. Романов, В.В. Зуев, В.Ю. Фоминский, М.В. Демин, В.В. Григорьев. ФТП, 44 (9), 1229 (2010)
K. Sauvet, A. Rougier, L. Sauques. Sol. Energy Mater. Solar. Cells, 92, 209 (2008)
В.Н. Неволин, В.Ю. Фоминский, А.Г. Гнедовец, Р.И. Романов. ФХОМ, 2, 46 (2010)
S.J. Hong, H. Jun, P.H. Borse, J.S. Lee. Int. J. Hydrogen Energy, 34, 3234 (2009)
Г.Е. Пикус. Основы теории полупроводниковых приборов (М., Наука, 1965)