Исследование упругой деформации пленок Ti при знакопеременном изгибе
Шугуров А.Р.1, Панин А.В.1, Казаченок М.С.1
1Институт прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
Email: shugurov@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 22 марта 2010 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2010 г.
Изучено влияние напряженно-деформированного состояния на границе раздела пленка-подложка на процессы упругой деформации пленок Ti при знакопеременном изгибе. Показано, что податливость подложки Al обусловливает когерентную деформацию системы пленка-подложка, приводя к гофрированию пленки Ti и возникновению волнистой границы раздела пленка-подложка. В процессе усталостных испытаний вдоль границы раздела формируется периодическое распределение нормальных и касательных напряжений, вызывающее периодическое коробление пленок. Коробление пленок Ti на подложке Ti происходит случайным образом на участках локального отслоения пленок и обусловлено накоплением дефектов на границе раздела.
- Boca Raton: CRC Taylor\&Francis / Ed. by M. Gad-el-Hak. MEMS: Applications. 2006. 568 p
- Boca Raton: CRC Taylor\&Francis / Ed. by M. Gad-el-Hak. MEMS: Introduction and Fundamentals. 2006. 448 p
- Merlijn van Spengen W. // Microelectron. Rel. 2003. Vol. 43. P. 1049
- Nix W.D. // Met. Trans. A. 1989. Vol. 20A. P. 2217
- Ohring M. The materials science of thin films. San Diego: Academic press, 1992. 724 p
- Gong X.-Y., Clarke D.R. // Oxid. Met. 1998. Vol. 50. P. 355
- Tolpygo V.K., Clarke D.R. // Acta Mater. 1988. Vol. 46. P. 5167
- Шугуров А.Р., Панин А.В. // Физическая мезомеханика. 2009. Т. 12. С. 21
- Schwaiger R., Kraft O. // Acta Mater. 2003. Vol. 51. P. 195
- Zhang G.P., Volkert C.A., Schwaiger R., Monig R., Kraft O. // Microelectron. Rel. 2007. Vol. 47. P. 2007
- Oliver W., Pharr G. // J. Mater. Res. 1992. Vol. 7. P. 1564
- Freund L.B., Suresh S. Thin Film Materials: Stress, Defect Fomation and Surface Evolution. Cambridge: Cambridge University Press, 2003. 820 p
- Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский А.М., Бродов М.Е. и др. Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика. Т. 7. Теория упругости. М.: Наука, 1987. 248 с
- Schwaiger R., Kraft O. // Scripta mater. 1999. Vol. 41. P. 823
- Kraft O., Schwaiger R., Welner P. // Matter. Sci. Eng. A. 2001. Vol. 319--321. P. 919
- Allen H.G. Analysis and design of structural sandwich panels. NY: Pergamon, 1969. 283 p
- Im S.H., Huang R. // J. Appl. Mech. 2005. Vol. 72. P. 955
- He M.Y., Evans A.G., Hutchinson J.W. // Acta Mater. 2000. Vol. 48. P. 2593
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук