Вышедшие номера
Методы исследования тонких диэлектрических пленок в миллиметровом диапазоне
Власов С.Н.1, Паршин В.В.1, Серов Е.А.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: serov@appl.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 11 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2010 г.

Для миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов длин волн предлагается оригинальный метод измерения параметров диэлектрических пластинок и пленок толщиной меньше lambda/2, основанный на определении характеристик мод открытого резонатора Фабри-Перо, имеющих различную поляризацию. Этим методом для изотропных материалов находятся как величина показателя преломления и tgdelta, так и толщина пленок. Для анизотропных пленок с известной толщиной метод позволяет измерять компоненты тензора диэлектрической проницаемости. Исследованы популярные пленочные материалы - тефлон (политетрафторэтилен, PTFE), лавсан (майлар, полиэтилентерефталат, PETP), полиамид с минимальной толщиной ~5 mum. Выявлена заметная анизотропия рулонных пленочных материалов, а также зависимость диэлектрических свойств от толщины, обусловленная технологией производства. Проведены исследования зависимости показателя преломления и tgdelta пленок от влажности воздуха.