Экспериментальная оценка параметров распределений для шероховатости поверхности в каналах наноразмеров
Мемнонов В.П.1, Ульянов П.Г.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: pokusa@star.math.spbu.ru
Поступила в редакцию: 7 декабря 2010 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2011 г.
Для расчета молекулярных течений в наносистемах создана статистическая модель шероховатости поверхности, основанная на представлении ее неровностей в виде набора плоских микроплощадок, соединяющихся краями между собой и имеющих нормали, отличные от нормали к среднему уровню. В качестве примера с помощью атомно-силового микроскопа Solver PRO-M выполнены измерения двух параметров микроскопической шероховатости жесткого диска винчестера: тангенса угла наклона вдоль линии скана и высоты неровности. По большой экспериментальной выборке из измеренных значений получены плотность функций распределения для угла наклона и условные распределения с параметрами, зависящими от этого угла, для высоты неровности, а также для площади треугольника, образуемого высотой вместе со сторонами угла. Это последнее условное экспоненциальное распределение оказалось более удобным для расчетов случайных величин. Полученные результаты могут использоваться для моделирования граничных условий при расчете молекулярных течений статистическими методами Монте-Карло, а также для оценки свойств новых материалов защитных покрытий поверхностей в наносистемах, содержащих течения газа.
- Cowborn R.P. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. 2000. Vol. A. 358. P. 281--301
- Li D., Yip W.Ch., Freire F.L. // J. Vac. Sci. Technol. 2003. Vol. A. 21. P. L19--L21
- Bird G.A. // Molecular Gas Dynamics and the Direct Simulation of Gas Flows. Oxford: Clarendon Press. 1994. 458 p
- Ухов А.И., Породнов Б.Т., Борисов С.Ф. // ПМТФ. 2009. Т. 50. С. 20--27
- Savada T., Horie B.Y., Sugiyama W. // J. Vacuum. 1996. Vol. 47. P. 795--797
- Ковалев В.Л., Якунчиков А.Н. // Вестн. МГУ. Сер. 1. Математика, механика. 2008. Вып. 2. С. 67--70
- Новиков Ю.А. // Тр. ИОФ им. Прохорова. 2006. Т. 62. С. 121--143
- Дедков Г.В., Канаметов А.А., Дедкова Е.Г. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 12. С. 79--85
- Занавескин М.Л., Занавескина И.С., Ращин Б.С., Асадчиков В.Е., Азарова В.В., Грищенко Ю.В., Толстихина А.Л. // Вестн. МГУ. Сер. 3. Физика, астрономия. 2006. Вып. 8. С. 80--82
- Klapetek P., Ohlidal I., Bilek J. // Ultramicroscopy. 2004. Vol. 102. P. 51--59
- Klapetek P., Ohlidal I. // Acta Physica Slovaca. 2005. Vol. 55. P. 295--303
- Memnonov V.P. // Ed. by B. Chetverushkin, A. Ecer. Parallel Computational Fluid Dynamics-Advance Numerical Methods, Software and Applications. Amsterdam: Elsevir, 2004. P. 89--96
- Jiand J.-Z., Shen C., Fan J. // Ed. by M. Capitelli. 24th Int. Symp. on Rarefied Gas Dynamics. AIP Conf. Proc. 762, N.Y.: AIP, 2004. P. 180--185
- Wu J.-S., Tseng K.-C. // Ed. by T.J. Bartel, M.A. Gallis. Rarefied Gas Dynamics. Proc. 22d. Int. Sydney 2000, AIP Conf. Proc. 585, N.Y.: AIP, 2001. P. 486--493
- Хусу А.П., Виттенберг Ю.Р., Пальмов В.А. Шероховатость поверхностей, теоретико-вероятностный подход. М.: Наука, 1975. 343 с
- Кнут Д. Искусство программирования для ЭВМ. М.: Мир, 1978. Т. 3. 841 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.