Усиление электронно-стимулированной десорбции от аморфных пленок оксида алюминия на кремнии при повышении температуры подложки
Иванченко М.В., Гриценко В.А., Непомнящий А.В., Саранин А.А.1,2
1Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения РАН, Владивосток, Россия
2Дальневосточный федеральный университет, Владивосток, Россия
Email: maxim@iacp.dvo.ru
Поступила в редакцию: 5 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2012 г.
Исследован эффект высокотемпературной электронно-стимулированной десорбции на пленках Al2O3 толщиной 20 nm, нанесенных на подложку кремния. Эффект электронно-стимулированной десорбции значительно усиливается при нагреве. Обнаружен эффект разрушения пленки до появления чистого Al электронным пучком при нагреве подложки, процесс сопровождается формированием островков, а также областей практически чистой поверхности кремния при достижении некоторой дозы облучения. Показано, что вне облученной области даже при нагреве до 700oC и отжиге в течение 90 min пленка Al2O3 толщиной 20 nm остается сплошной. Исследовано влияние энергии пучка первичных электронов на эффект электронно-стимулированной десорбции от пленки Al2O3 толщиной 20 nm на кремнии и установлены параметры, при которых электронно-стимулированная десорбция происходит либо не наблюдается.
- Перевалов Т.В., Гриценко В.А. // УФН. 2010. Т. 180. Вып. 6. С. 587--603
- Perevalov T.V., Tereshenko O.E., Gritsenko V.A., Pustovarov V.A., Yelisseyev A.P., Park Ch., Han J.H., Lee Ch. // J. Appl. Phys. 2010 Vol. 108. N 1. P. 013 501-1--013 501-4
- Новиков Ю.Н., Гриценко В.А., Насыров К.А. // Письма в ЖЭТФ. 2009. Т. 89. С. 599--603
- Morant C., Sanz J.M., Galan L. // Phys. Rev. B. 1992. Vol. 45. P. 1391--1398
- Соколов А.А., Овчинников А.А., Лысенков К.М., Марченко О.Е., Филатова Е.О. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 7. С. 131--136
- Golek F., Bauer E. // Surf. Sci. 1996. Vol. 365. P. 547--556
- Chen C.L., Furusho H., Mori H. // Philosophical Magazine Letters. 2010. Vol. 90. N 10. P. 715--721
- Rar A., Yoshitake M. // Jpn. J. Appl. Phys. 2000. Vol.39. P. 4464--4468
- Chen C.L., Arakawa K., Mori H. // Scripta Materialia. 2010. Vol. 63. P. 355--358
- Hoffman A., Paterson P.J.K. // Surf. Sci. 1996. Vol. 352--354. P. 993--997
- Hoffman A., Paterson P.J.K. // Appl. Surf. Sci. 1996. Vol. 93. P. 301--308
- Chung Y.W., Siekhaus W., Somorjai G. // Phys. Rev. B. 1977. Vol. 15. P. 959--963
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
