Магнетронный разряд в среде аргона и кислорода при осаждении пленки оксида титана
Комлев А.Е.1, Шаповалов В.И.1, Шутова Н.С.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: vishapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 17 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.
Приведены результаты изучения разряда в плоском магнетроне с титановой мишенью. Установлено, что в среде аргона при постоянном токе увеличение давления от 2 до 6 mTorr приводит к увеличению возбуждения ионов аргона примерно на 20%. Возбуждение нейтральных атомов титана не зависит от давления аргона и определяется только током разряда. Вольт-амперная характеристика магнетрона в среде аргона и кислорода полностью отражает процессы, происходящие на мишени магнетрона.
- Гончаров А.А., Евсюков А.Н., Костин Е.Г. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 8. С. 127--135
- Jung M.J., Kim Y.M., Chung Y.M. et al. // Thin Sol. Films. 2004. Vol. 447--448. P. 430--435
- Venkataraj S., Severin D., Mohamed S.H. et al. // Thin Sol. Films. 2006. Vol. 502. P. 228--234
- Martin N., Lintymer J., Gavoille J. et al. // Sur. Coat. Technol. 2007. Vol. 201. P. 7733--7738
- Audronis M., Bellido-Gonzalez V., Daniel B. // Sur. Coat. Technol. 2010. Vol. 204. P. 2159--2164
- Barybin A.A, Shapovalov V.I. // J. Appl. Phys. 2007. Vol. 101. P. 054 905-1-10
- Барыбин А.А., Шаповалов В.И. Пленки оксидов переходных металлов: физика и технология реактивного распыления. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2009. 176 c
- Блонский И.В., Гончаров А.А., Демчишин А.В. и др. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 7. С. 127--132
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
