Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Магнетронный разряд в среде аргона и кислорода при осаждении пленки оксида титана

Комлев А.Е.¹, Шаповалов В.И.¹, Шутова Н.С.¹

¹Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

Email: vishapovalov@mail.ru

Поступила в редакцию: 17 августа 2011 г.

Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Приведены результаты изучения разряда в плоском магнетроне с титановой мишенью. Установлено, что в среде аргона при постоянном токе увеличение давления от 2 до 6 mTorr приводит к увеличению возбуждения ионов аргона примерно на 20%. Возбуждение нейтральных атомов титана не зависит от давления аргона и определяется только током разряда. Вольт-амперная характеристика магнетрона в среде аргона и кислорода полностью отражает процессы, происходящие на мишени магнетрона.

Гончаров А.А., Евсюков А.Н., Костин Е.Г. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 8. С. 127--135
Jung M.J., Kim Y.M., Chung Y.M. et al. // Thin Sol. Films. 2004. Vol. 447--448. P. 430--435
Venkataraj S., Severin D., Mohamed S.H. et al. // Thin Sol. Films. 2006. Vol. 502. P. 228--234
Martin N., Lintymer J., Gavoille J. et al. // Sur. Coat. Technol. 2007. Vol. 201. P. 7733--7738
Audronis M., Bellido-Gonzalez V., Daniel B. // Sur. Coat. Technol. 2010. Vol. 204. P. 2159--2164
Barybin A.A, Shapovalov V.I. // J. Appl. Phys. 2007. Vol. 101. P. 054 905-1-10
Барыбин А.А., Шаповалов В.И. Пленки оксидов переходных металлов: физика и технология реактивного распыления. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2009. 176 c
Блонский И.В., Гончаров А.А., Демчишин А.В. и др. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 7. С. 127--132

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель