Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Синтез углеродных пленок в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда

Шустин Е.Г.¹, Исаев Н.В.¹, Клыков И.Л.¹, Песков В.В.¹, Поляков В.И.¹, Руковишников А.И.¹, Темирязева М.П.¹

¹Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, фрязинский филиал, Фрязино, Московская обл., Россия Kotelnikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Fryazino Branch, Fryazino, Russia

Kotelnikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Fryazino Branch, Fryazino, Russia

Email: shustin@ms.ire.rssi.ru

Поступила в редакцию: 28 февраля 2012 г.

Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

PDF версия

Разработана модификация плазмохимического реактора на основе пучково-плазменного разряда для осаждения углеродных, в том числе алмазоподобных (DLC) пленок, отличающаяся от известных методов простотой управления энергетическими характеристиками ионного потока, воздействующего на пленку в процессе осаждения. Описана техника компьютерного моделирования характеристик ионного потока на электроизолированную поверхность в режиме модуляции потенциала плазмы, позволяющая прогнозировать энергию и поток ионов, воздействующих на осаждаемую пленку. Получены образцы DLC-пленок на металлических подложках. Методом зарядовой релаксационной спектроскопии выявлен эффект влияния адсорбированных паров воды и спирта на электрофизические свойства пленок, что свидетельствует о возможности использования полученных пленок в качестве активного адсорбирующего материала для химических сенсоров.

Исаев Н.В., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. // Прикладная физика. 2008. N 3. С. 73
Shustin E.G., Isaev N.V., Temiryazeva M.P., Fedorov Yu.V. // Vacuum. 2009. Vol. 83. N 11. P. 1350
Латышев Ю.И., Орлов А.П., Песков В.В. и др. // Физика. 2012. Т. 442. N 2. С. 181
Shustin E.G., Isaev N.V., Klykov I.L., Peskov V.V. // Vacuum. 2011. Vol. 85. P. 711
Курнаев В.А., Песков В.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. // Прикладная физика. 2009. N 6. С. 118
Альперт Я.Л., Гуревич А.В., Питаевский Л.П. Волны и искусственные тела в приземной плазме. М.: Наука, 1974
Polyakov V.L., Ruloviishnikov A.I., Rossukanyi N.M., Druz B. // Material Research Society. Warrendale. PA. Vol. 699. Electrically Based Microstructural Characterization III. 2002. P. 219
Polyakov V.I., Rukovishnikov A.I., Rossukanyi N.M. et al. // Diamond and Related Materials. 2003. Vol. 12. P. 1776
Polyakov V.I., Mityagin A.Yu., Rukovishnikov A.I. Ibid. 2006. Vol. 15. P. 1926

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель