Теоретическое исследование формирования в кристаллах выделений примесей в порах нанометровых размеров. II. Кинетика роста кластеров примеси в порах
Лубов М.Н., Куликов Д.В., Трушин Ю.В., Курносиков О.1
1Технологический университет Эйндховена, МВ Эйндховен, Нидерланды
Email: trushin@theory.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2013 г.
Теоретически исследуется кинетика формирования кластеров примеси внутри подповерхностных пор нанометрового размера в кристаллах. Разработана физическая модель выделения примесной фазы в порах нанометрового размера в образце, содержащем стоки различных типов. На основе модели проведен расчет кинетики отжига меди, содержащей подповерхностные поры и примесные атомы кобальта. Определены оптимальные условия отжига, при которых атомы кобальта диффундируют преимущественно в поры и образуют в них примесные кластеры.
- Berkowitz A.E. // Phys. Rev. Lett. 1992. Vol. 68. P. 3745--3748
- Xiao J.Q., Jiang J.S., Chien C.L. // Phys. Rev. Lett. 1992. Vol. 68. P. 3749
- Petersen G.A., Meyers S.M., Gollstaedt D.M. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 1997. Vol. 127--128. P. 301--306
- Brett D.A., Azevedo G. de M., Llewellyn D.J., Ridgway M.C. // Appl. Phys. Lett. 2003. Vol. 83. P. 946--947
- Brett D.A., Llewellyn D.J., Ridgway M.C. // Appl. Phys. Lett. 2006. Vol. 88. P. 222 107--3
- Лубов М.Н., Куликов Д.В., Трушин Ю.В., Курносиков О. // ЖТФ. 2013. Т. 83. Вып. 1. С. 46--53
- Трушин Ю.В., Орлов А.Н. // ЖТФ. 1986. Т. 56. С. 1302--1310
- Трушин Ю.В. // ЖТФ. 1992. Т. 62. С. 13--22
- Trushin Yu.V. Theory of rediation processes in metal solid solutions. N.Y.: Nova Science Publishers, 1996. 411 p
- Kulikov D.V., Trushin Yu.V., Sauerzopf F.M., Zehetmayer M., Weber H.W. // Phys. C. 2001. Vol. 355. P. 245--250
- Трушин Ю.В. Радиационные процессы в многокомпонентных материалах (теория и компьютерное моделирование). СПб.: ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2002. 284 с
- Kurnosikov O., Adam O.A.O., Swagten H.J.M., de Jonge W.J.M., Koopmans B. // Phys. Rev. B. 2008. Vol. 77. P. 125 429--7
- Kurnosikov O., Nietsch J.H., Sicot M., Swagten H.J.M., Koopmans B. // Phys. Rev. Lett. 2009. Vol. 102. P. 066 101--3
- Kurnosikov O., Swagten H.J.M., Koopmans B. // Phys. Rev. Lett. 2011. Vol. 106. P. 196 803--3
- Kurnosikov O., Kulikov D.V., Kharlamov V.S., Swagten H.J.M., Trushin Yu.V. // Phys. Rev. B. 2011. Vol. 84. P. 054 109--11
- Williams J.S., Ridgway M.C., Conway M.J. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2001. Vol. 178. P. 33--43
- Kuhalainen J., Manninen M., Kautto E. // J. Phys. Cond. Mat. 1996. Vol. 8. P. 10 317--10 326
- Калин Б.А. Физическое материаловедение: Учебник для вузов: B 6 т. М.: МИФИ, 2007--2008
- Gibbs J.W. Thermodynamics papers. N.Y., 1906. 472 p
- Болтакс Б.И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках. Л.: Наука, 1972. 384 с
- Kharlamov V.S., Kulikov D.V., Trushin Yu.V. // Vacuum. 1999. Vol. 52. P. 407--409
- Bittner R., Humer K., Weber H.W., Kundzins K., Sternberg A., Lesnyh D.A., Kulikov D.V., Trushin Y.V. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 96. P. 3239--3246
- Trushin Yu.V., Kulikov D.V., Safonov K.L., Gerlach J.W., Hoche Th., Rauschenbech B. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 103. P. 14 904--5
- Куликов Д.В., Курносиков О., Сико М., Трушин Ю.В. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 35. Вып. 2. С. 10--14
- Лубов М.Н., Куликов Д.В., Трушин Ю.В. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 1. С. 85--91
- Бокштейн Б.С., Бокштейн С.З., Жуковицкий А.А. Термодинамика и кинетика диффузии в твердых телах. М.: Металлургия, 1974. 280 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук