Вакуумно-дуговой процесс осаждения нитридных покрытий системы Ti-Si-N проведен в смеси газов с различными пропорциями использованных газовых компонент - азота и аргона. Исследование получаемых покрытий проведено фрактографическими методами и методами структурного анализа (рентгеновская дифрактометрия и высокоразрешающая сканирующая электронная микроскопия). Также исследованы элементный состав и микротвердость этих конденсатов. При давлениях газовой смеси p>5·10^-3 Тоrr найден режим наибольшей твердости покрытий и получена зависимость твердости от пропорции аргоновой компоненты в составе смеси. При содержании аргона на уровне 8-12% получены покрытия с твердостью около 50 GPа, что превышает в 1.7 раза твердость покрытий, полученных в среде азота. Такое сверхтвердое состояние определяется нанометровым (25-30 nm) размером кристаллитов нитрида и текстурой роста с семейством плоскостей 100, параллельной поверхности роста, что соответствует минимуму поверхностной энергии. Обсуждены возможные механизмы, способствующие повышению ионизации пленкообразующих частиц и активации химических реакций в присутствии аргона.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.