Исследование влияния параметров осаждения на структуру и физико-химические свойства защитных покрытий из Al2O3
Погребняк А.Д., Комаров Ф.Ф., Каверина А.Ш., Соболь О.В., Тюрин Ю.Н., Купчишин А.И., Кылышканов М.К.1
1Восточно-Казахстанский государственный технический университет им. Д. Серикбаева, Усть-Каменогорск, Республика Казахстан
Email: mixifox@mail.ru
Поступила в редакцию: 10 октября 2012 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.
Три серии образцов покрытий Al2O3 были получены методом микродугового оксидирования при различных условиях осаждения. Они были исследованы с помощью SEM-микроскопии с EDXS, RBS и рентгенофазового анализа XRD. Дефекты и поры в покрытии были исследованы методом позитронной аннигиляционной спектроскопии (PALS) при комнатной температуре, без вакуума. В процессе исследования не обнаружено образование нанометровых пор. Показано, что, меняя условия электролитно-плазменной обработки, можно изменять концентрацию и соотношение разного типа вакансионных дефектов в покрытии из Al2O3.
- Yerokhin A.L., Nie X., Leyland A., Metthews A., Dowey S.J. // Surf. Coat. Tech. 1999. Vol. 122. N 2--3. P. 73--93
- Погребняк А.Д., Тюрин Ю.Н. // ЖТФ. 2002. Т. 72. Вып. 11. С. 119--120
- Tyurin Yu.N., Pogrebnjak A.D. // Surf. Coat. Tech. 2001. Vol. 142--144. P. 293--299
- Погребняк А.Д., Тюрин Ю.Н. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 8. С. 109--112
- Pogrebnjak A.D., Ruzimov Sh.M., Alontseva D.L. et. al. // Vacuum. 2007. Vol. 81. P. 1243--1251
- Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В., Бурцл Р. // Ядерная физика. 2009. T. 72. Вып. 10. С. 1730--1739
- Kansy J. // Sci. Forum. 2001. Vol. 652. P. 363--365
- Krause-Rehberg R., Leipner H.S. Positron Annihilation in Semi-conductors. Berlin: Springer-Verlag, 1999. 378 p
- Djourelov N., Palacio C.A., Baerdemaeker J.De. et. al. // J. Phys.: Condens. Matter. 2008. Vol. 20. P. 95 206--95 214
- Shek C.H., Gu T.S., Lin G.M., Lai J.K.L. // Appl. Phys. A. 1998. Vol. 66. P. 413--418
- Dauwe C., Tsumbu M. // Phys. Rev. B. 1992. Vol. 45. P. 9--14
- Engelhart W., Dreher W., Eibl O., Schier V. // Acta Materialia. 2011. Vol. 59. N 20. P. 7757--7767
- Volceanov E., Volceanov A., Stoleriu S. // J. Europ. Ceram. Soc. 2007. Vol. 27. N 2--3. P. 759--762
- Isobe T., Daimon K., Sato T. // Ceram. Intern. 2008. Vol. 34. N 1. P. 213--217
- Musil J., Blav zek J., Zeman P., Prokv sova v S., v Sav sek M., v Cerstvy R. // Appl. Surf. Sci. 2010. Vol. 257. N 3. P. 1058--1062
- Погребняк А.Д., Кульментьева О.П., Кобзев А.П., Тюрин Ю.Н., Головенко С.И., Бойко А.Г. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. Вып. 8. С. 8--15
- Погребняк А.Д., Кылышканов М.К., Тюрин Ю.Н., Каверина А.Ш. // ЖТФ. 2012. Т. 82. Вып. 6. C. 106--114
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук