Исследование высокочастотного емкостного разряда низкого давления
Дулькин А.Е.1, Мошкалев С.А.1, Смирнов А.С.1, Фролов К.С.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 20 октября 1992 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1993 г.
Приводятся результаты экспериментальных исследований высокочастотного емкостного разряда низкого давления. Показано, что характеристики разряда определяются в первую очередь приэлектродными слоями. Предложена простая качественная модель разряда, учитывающая нелокальность функции распределения электронов. Модель позволяет получить правильные зависимости параметров плазмы от внешних условий и верные по порядку величины численные значения.
- Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Н.Айнспрука, Д.Брауна. М.: Мир, 1987
- Бойко В.В., Манкелевич Ю.А. и др. Физика плазмы. 1989. Т. 54. N 1. С. 219--224
- Kushner M. J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. P. 4958--4965
- Смирнов А.С., Цендин Л.Д. ЖТФ. 1990. Т. 35. Вып. 7. С. 56--61
- Leiberman M.A. IEEE Trans. 1988. Vol. PS--16. P. 638--644
- Мак-Даниель М., Мэзон Э. Подвижность и диффузия ионов в газах. М.: Мир, 1976
- Dulkin A.E., Moshkalyov S.A., Pyataev V.Z. et al. Proc. Intern. Conf. on Microlithography. Rome, 1991. P. 345--348
- Kaganovitch I.D., Tsendin L.D. IEEE Trans. 1992. Vol. PS-20. N 2. P. 62--75
- Грановский В.Л. Электрический ток в газах. Т. 2. Установившийся ток. М.: Наука, 1972
- Цендин Л.Д. ЖТФ. 1985. Т. 55. Вып. 12. С. 2318--2322
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук