Электронно-стимулированная нитридизация Si(100) в атмосфере аммиака
Тарасова С.Л.1, Котляр В.Г.1, Саранин А.А.1, Храмцова Е.А.1, Лифшиц В.Г.1
1Институт автоматики и процессов управления с вычислительным центром Владивосток
Поступила в редакцию: 12 января 1992 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1993 г.
- Glachant A., Saidi D. J. Vac. Sci. Technol. B. 1985. Vol. 3. N 4. P. 985--991
- Bozso F., Avouris Ph. Phys. Rev. Lett. 1986. Vol. 57. N 9. P. 1185--1188
- Hlil E.K., Kubler L., Bischoff J.L., Bolmont D. Phys.Rev.B. 1987. Vol. 35. N 11. P. 5913--5926
- Hamers R.J., Avouris Ph., Bozso F. J.Vac. Sci.Technol.A. 1988. Vol. 6. N 2. P. 508--516
- Hamers R.J., Avouris Ph., Bozso F. Phys. Rev. Lett. 1987. Vol. 59. N 18. P. 2071--2074
- Avouris Ph., Bozso F., Hamers R.J. J.Vac.Sci.Technol.B. 1987. Vol. 5. N 5. P. 1387--1392
- Bozso F., Avouris Ph. Phys.Rev.B. 1988. Vol. 38. P. 3937--3942
- Taylor P.A., Wallace R.M., Choyke W.J. etal Surf.Sci. 1989. Vol. 215. N 1--2. P. 1286--1292
- Larsson C.U.S., Flodstrom A.S. Surf.Sci. 1991. Vol. 241. N. 3. P. 353--356
- Rangelov G., Stober J., Eisenhut B., Fauster Th. Phys.Rev.B. 1991. Vol. 44. N 4. P. 1954--1957
- Chen P.J., Colaianni M.L., Yates, Jr. J.T. Surf. Sci. 1992. Vol. 274. N 3. P. L605--L610
- Cherif S.M., Lacharme J.-P., Sebenne C.A. Appl.Surf. Sci. 1992. Vol. 56--58. P. 777--781
- Cherif S.M., Lacharme J.-P., Sebenne C.A. Surf. Sci. 1992. Vol. 262. P. 33--41
- Delord J.I., Schrott A.G., Fain S.C.Jr. J.Vac.Sci.Technol. 1980. Vol. 17. N 1. P. 517--520
- Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Храмцова Е.А. ЖТФ. 1990. Т. 16. Вып. 24. P. 51--54
- Glachant A., Saidi D., Delord J.F. Surf. Sci. 1986. Vol. 168. N 1--3. P. 672--680
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук