Математическое моделирование трубчатого источника для молекулярно-лучевой эпитаксии
Григорьев Ю.Н.1, Шавалиев М.Ш.1, Шапеев В.П.1
1Институт вычислительной технологии,, Новосибирск
Поступила в редакцию: 6 мая 1993 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.
Получены аналитические выражения для радиального распределения потока молекул на подложку, создаваемого трубчатым источником молекулярного пучка. Численно исследована зависимость потока от геометрических параметров источника и формы эмиттирующей поверхности. Дана оценка точности вычисления потока с помощью диаграммы направленности источника. Использовалось прямое статистическое моделирование, контролируемое с помощью регулярного численного метода.
- Коган М.И. Динамика разреженного газа. М.: Наука, 1967. 440 с
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. Часть I. М.: Наука, 1976. 584 с
- Иванов Б.С., Троицкий В.С. ЖТФ. 1963. Т. 33. Вып. 4. С. 494--499
- Nambu K., Watanabe Y. Vacuum. 1986. Vol. 36. N 6. P. 349--354
- Берд Г. Молекулярная газовая динамика. М.: Мир, 1982. 320 с
- Бахвалов Н.С. Численные методы. М.: Наука, 1973. 632 с
- Неудачин И.Г., Породнов Б.Т., Суетин П.Е. ЖТФ. 1972. Т. 42. Вып. 5. С. 1069--1072
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук