Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние условий корпусирования интегральных тензопреобразователей на величину и температурную зависимость их тензочувствительности
1Институт полупроводников НАН Украины, Киев, Украина 
Поступила в редакцию: 14 июля 1993 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1994 г.
Проведен анализ температурной зависимости тензочувствительности интегральных датчиков давления на основе кремния. Показано, что наряду с температурной зависимостью коэффициентов пьезосопротивления существенный вклад в температурную зависимость тензочувствительности могут вносить температурозависимые механические напряжения, обусловленные сборкой и корпусированием.
- Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. М., 1979. 136 с
- Шмарцев Ю.В., Мирзабаев М. ФТП. 1971. Т. 5. Вып. 11. С. 2245--2246
- Жадько И.П., Романов В.А., Сердега Б.К. ПТЭ. 1972. N 5. С. 215--216
- Гридчин В.А., Пирогова Р.А. Измерит. техника. 1985. N 1. С. 40--42
- Quenzer H.J., Benecke W. Sensors and Actuators. A. 1992. Vol. 32. N 1--3. P. 340--344
- Chau H.L., Wise K.D. IEEE Trans. Electron. Dev. 1987. Vol. ED-34. N 4. P. 850--858
- Кэй ДЖ., Лэби Т.Л. Таблицы физических и химических постоянных. М., 1962. С. 247
- Горелик С.С., Литвинов Ю.Н., Постолов В.Г., Приходько А.В. Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектрон. 1985. N 4 (116). С. 82--86
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теория упругости. М., 1965. С. 203
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
