Моделирование одновременного процесса формирования силицидов и скрытых изолирующих слоев Si 3N 4 в режиме высокоинтенсивной ионной имплантации
Комаров А.Ф.1, Комаров Ф.Ф.1, Федотов С.А.1
1Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко,, Минск
Поступила в редакцию: 30 ноября 1993 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1994 г.
Предложена теоретическая модель расчета роста твердофазных силицидов, а также глубинного перераспределения азота, имплантированного в кремний с целью создания скрытых изолирующих слоев нитрида кремния. Получено аналитическое выражение, позволяющее определить положение границы синтезируемого слоя силицида как функции температуры и времени. Определено, что перемешивание атомов металла пленки и кремния вблизи границы раздела существенного влияния на изменение положения границы синтезируемого силицидного слоя не оказывает. Для объяснения явления локализации примеси при высокотемпературном самоотжиге слоев кремния, облученных большими дозами ионов азота, привлечена фрактальная модель кластер-кластерной агрегации.
- Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986. 176 с
- Борзаковский А.К., Вербицкий В.Г., Высоцкий О.Н. и др. Поверхность. 1988. N 7. С. 95--100
- Scowengerdt F.D., Lin T. L., Fathauer R.W., Grunthauer P.J. Appl. Phys. Lett. 1989. Vol. 54. N 14. P. 1314--1316
- Борисенко В.Е., Заровский Д.И., Лабунов В.А., Ларсен А.Н. ЖТФ. 1986. Т. 56. Вып. 5. С. 981--983
- Reeson K.J. et al. Rad. Eff. 1985. Vol. 99. P. 71
- Reeson K.J. Nucl. Instr. and Meth. 1987. Vol. B19/20. P. 269
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Федоров С.А. Поверхность. 1990. N 8. С. 5--9
- Борисенко В.Е. Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве. Минск: Наука и техника. 1992. 248 с
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Темкин М.М. Поверхность. 1989. N 4. С. 15--21
- Nesbit L., Stiffler S., Slusser G., Vinton H. J. Electrochem. Soc. 1985. Vol. 132. N 11. P. 2713
- Лужников А.А., Токарь Я.Н., Цицкишвили М.Ц. ДАН СССР. 1981. Т. 256. С. 1155
- Бабех Л.Г., Грибковский Р.В., Комаров Ф.Ф. Поверхность. 1993. В печати
- Грибковский Р.В., Комаров Ф.Ф., Новиков А.П. Зарубежная электронная техника. 1990. N 6. С. 28--54
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук