Проведены эксперименты по исследованию потоков электронов и ионов, бомбардирующих электроды в высокочастотном емкостном разряде в аргоне при давлениях p=15-30 мТор. Показано, что поток быстрых электронов, образующихся за счет вторичной эмиссии, сравним с потоком ионов на электрод. Энергия быстрых электронов в несимметричном разряде около большого электрода значительно превышает ионную (varepsilon_i~= 30 эВ) и достигает 1000 эВ. Измерены значения ион-электронной эмиссии gamma и эффективной ион-электронной эмиссии gamma_eff, включающей процессы эмиссии за счет взаимодействия фотонов и возбужденных атомов с поверхностью. Полученные значения gamma_eff=0.15-0.55 во всех случаях значительно превышают gamma =< 0.03. Измерены коэффициенты вторичной электронной эмиссии sigma для быстрых электронов в условиях разряда и их зависимость от энергии электронов. Показано, что значения sigma могут превышать единицу.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.