Вышедшие номера
Алмазоподобный гидрогенизированный углерод, легированный медью: спектральная интерферометрия
Иванов-Омский В.И.1, Криворотов И.Н.1, Ястребов С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.

Описан метод определения оптических параметров геометрически неоднородной (клиновидной) пленки. Метод применен для анализа спектров отражения и пропускания слоев аморфного гидрогенизированного углерода, осажденных на подложки из плавленого кварца в процессе магнитоплазменного (магнетронного) сораспыления графитовой и медной мишеней в атмосфере аргон-водородной плазмы (20%H2 и 80%Ar). Анализ оптических констант, полученных в результате расчета, позволил установить, что медь, входя в матрицу аморфного углерода, формирует нанокомпозит с различными размерами металлических включений - от единиц (в диапазоне концентраций от x=0-20 ат.% меди) до десятков ангстрем (x>20%), что проявляется в формировании характерной для поверхностных плазменных колебаний электронного газа в сферических металлических частицах полосы оптического поглощения, с максимумом, лежащим вблизи 2 эВ.