Ионно-ассистируемое осаждение слоев на металлах
Комаров А.Ф.1, Комаров А.А.1, Тарковский П.1
1Белорусский государственный университет Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 14 октября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.Ф., Темкин М.М. Пространственное распределение энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат, 1985. 248 с
- Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М.: Металлургия, 1990. 216 с
- Бойко Е.Б., Комаров А.Ф., Комаров Ф.Ф. и др. Вакуумная техника и технология. 1993. Т. 3. N 2. С. 19--24
- Бойко Е.Б., Комаров А.Ф., Комаров Ф.Ф. и др. ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 6. С. 106--112
- Brice D.K. Nucl. Instr. and Meth. 1986. Vol. 17. P. 289--299
- Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions Solids. New York: Pergamon Press, 1985. 321 p
- Rauschenbach B., Hochmuth K. Phys. Stat. Sol. (a). 1986.Vol. 94. P. 833--837
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук