Управление протяженностью переходных слоев при жидкофазной гетероэпитаксии (ЖФГЭ) в системе InGaAsP/InP
Кижаев К.Ю., Кучинский В.И., Никишин С.А., Погребицкий К.Ю., Смирницкий В.Б., Фалеев Н.Н.
Выставление онлайн: 17 февраля 1990 г.
Приведены экспериментальные данные, свидетельствующие о влиянии интенсивности перемешивания расплава при жидкостной эпитаксии на протяженность переходных слоев в системе InP/InGaAsP. На примере двухслойной гетероструктуры InP-Inx1Ga1-x1Asy1P1-y1 -Inx2Ga1-x2Asy2P1-y2 проанализированы стадии образования переходных слоев, а также высказаны модельные представления о характере распределения состава и механических напряжений в них.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.